脉冲偏压

作品数：113被引量：371H指数：10
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：林国强董闯闻立时黄美东赵彦辉更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院金属研究所哈尔滨工业大学东华大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国航空科学基金河南省基础与前沿技术研究计划项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 主题=等离子体x
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
脉冲偏压对316L不锈钢表面类金刚石薄膜腐蚀行为影响被引量：3
《中国表面工程》2022年第5期272-278,共7页陈东旭 郭阳阳 祁继隆 周艳文 
国家自然科学基金(51972155);辽宁省教育厅基金(LJKZ0286)资助项目
为了提高不锈钢的耐局部腐蚀性能,采用等离子体增强化学气相沉积(Plasma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)技术,在316L不锈钢表面制备含氢类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜,研究不同脉冲偏压对薄膜的杂化结构及腐蚀行...
关键词：等离子体 脉冲偏压 化学气相沉积 类金刚石薄膜 腐蚀行为 
直流脉冲偏压协同射频等离子体对PET膜的表面改性被引量：6
《真空科学与技术学报》2013年第9期893-897,共5页解艳凤 施芸城 黄晓江 石建军 郭颖 
国家自然科学基金青年科学基金(11005017)
利用协同射频等离子体对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜进行表面改性,主要研究了直流(DC)脉冲偏压协同作用对PET膜表面快速(15 s)处理效果的影响。实验表明:DC脉冲偏压作用后PET表面润湿性得到了明显的改善,接触角可在15 s的处理时间内降...
关键词：脉冲偏压 PET膜 射频等离子体 表面改性 
脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响被引量：7
《物理学报》2007年第8期4762-4770,共9页黄永宪 田修波 杨士勤 Fu Ricky Chu K.Paul 
国家自然科学基金(批准号:10575025;50373007);哈尔滨市学科后备带头人基金(批准号:2004AFXJ013)资助的课题.~~
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种廉价高效、非视线的技术.采用等离子体粒子模型,通过假设电子密度服从Boltzmann分布,求解Poisson方程和Newton方程,跟踪离子在等离子体鞘层中的运动形态及特性并进行统计分析,研究...
关键词：等离子体浸没离子注入 鞘层 粒子模型 上升沿 
等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化被引量：10
《真空科学与技术学报》2005年第2期115-119,共5页黄永宪 田修波 杨士勤 黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 
国家自然科学基金(10345003和50373007)资助
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了...
关键词：等离子体浸没离子注入 离子注人 鞘层 子阵 PⅢ 物理量 Poisson方程 材料表面改性 Newton 时空演化规律 离子流密度 脉冲偏压 数值模拟 粒子模型 求解空间 运动方程 离子浓度 靶体 电势 一维 电子 动能 
大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算被引量：19
《金属学报》2004年第10期1064-1068,共5页郭慧梅 林国强 盛明裕 王德真 董闯 闻立时 
国家高技术研究发展计划资助项目2002AA302507
用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析 和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.
关键词：大颗粒 电弧离子镀 脉冲偏压 等离子体鞘层 受力分析 
脉冲偏压对等离子体沉积DLC膜化学结构的影响被引量：4
《材料科学与工艺》2002年第1期51-54,共4页孙明仁 夏立芳 孙跃 马欣新 孙立海 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(97021312)
以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasmabasedpulsdbiasdeposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC膜的试验.通过X射线光电子谱(XPS)、激光喇曼光谱〔Raman〕以及电阻分析方法考察了负脉冲偏压幅值对DLC膜化学...
关键词：脉冲偏压 DLC膜 化学结构 等离子体沉积 类金刚石碳膜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部