对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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对向靶溅射α″-Fe_(16)N_(2)薄膜的结构与磁性
《河北师范大学学报（自然科学版）》2000年第4期459-461,共3页许英华 姜恩永 侯登录 
国家自然科学基金资助项目(50072015)
用对向靶反应溅射法制备了α″-Fe1 6 N2 薄膜 ,用 X射线衍射 ( XRD)和振动样品磁强计 ( VSM)对其结构、磁性进行了分析讨论 。
关键词：饱和磁化强度 对向靶溅射 Fe_(16)N_(2)薄膜 
对向靶溅射高炮和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
《真空科学与技术》1998年第2期146-150,共5页姜恩永 王合英 刘明升 
国家自然科学基金;21世纪青年科学基金
本实验用对向靶溅射仪分别在Si（100），NaCl单晶衬底上成功地制备出具有高炮和磁化强度的（Fe，Ti）－N薄膜，研究了氮气分压和衬底温度对薄膜结构与磁性的影响。氮气分压为0．04～0．07Pa，衬底温度为100～150℃时，有利于Fe_(16)N_2...
关键词：对向靶溅射 薄膜 磁性 铁氮薄膜 
掺杂Ti对Fe－N薄膜结构与磁性的影响
《金属学报》1996年第11期1199-1203,共5页王合英 姜恩永 白海力 吴萍 刘明升 
国家自然科学基金;中关村联合测试基金;天津市21世纪青年科学基金
用对向靶溅射仪制备出含多量Ｆｅ（１６）Ｎ２相的（Ｆｅ，Ｔｉ）－Ｎ薄膜，研究了掺杂Ｔｉ对Ｆｅ－Ｎ薄膜结构与磁性的影响，在溅射Ｆｅ－Ｎ薄膜时加入适量的Ｔｉ可提高Ｆｅ－Ｎ薄膜中Ｆｅ（１６）Ｎ２相的含量．Ｔｉ含量（原子分数）...
关键词：对向靶溅射 掺杂 磁性 薄膜 钛 
氮化铁梯度薄膜的制备和磁性研究被引量：1
《真空科学与技术》1996年第1期1-4,共4页林川 姜恩永 孙多春 田民波 
1993~1995年国家自然科学基金
用对向靶溅射方法制备出氮化铁梯度薄膜。利用X射线光电子能谱（XPS）对样品进行了深度剖面分析：铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈梯度变化。X射线衍射表明膜中含有α－Fe，α”－Fe16N2，ε－FexN（2＜x≤3）和ξ-FeN各相。随着...
关键词：对向靶溅射 氮化铁 薄膜 梯度薄膜 
NdFe_(7-x)Mo_x薄膜的制备和磁性研究
《真空科学与技术》1995年第6期379-382,共4页顾卫东 姜恩永 刘明升 
利用对向靶溅射，同时对基片进行退火处理的方法，在玻璃基片上成功地制备出了NdFe7-xMox（x=0，0．5）薄膜，并对其进行了磁性研究。VSM测量结果表明，Mo掺入导致了材料矫顽力Hc的增大，却相应降低了饱和磁化强度Ms。随着退火温度T的...
关键词：对向靶溅射 退火温度 矫顽力 金属互化物 薄膜 
对向靶溅射氮化铁梯度薄膜被引量：1
《科学通报》1995年第9期851-854,共4页姜恩永 林川 刘裕光 孙多春 田民波 
国家自然科学基金资助项目
氮化铁薄膜具有优异的磁性能,同时又具有良好的耐腐蚀性,是一种优异的高密度磁记录磁头材料.目前已广泛确认的氮化铁系化合物共有4相,分别是α″-Fe_(16)N_2,γ′-Fe_4N,ε-Fe_xN(2≤x≤3)和ζ-Fe_2N.它们的磁矩和Curie温度随含氮量的...
关键词：对向靶溅射 氮化铁 薄膜 梯度薄膜 磁性 
用对向靶溅射方法高速淀积磁性薄膜
《四川真空》1992年第3期28-31,共4页范启华 
关键词：溅射 磁性 薄膜 半导体 
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