精密工作台

作品数：78被引量：242H指数：9
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精密工作台扰动观测器的设计被引量：11
《微细加工技术》2007年第4期39-42,共4页贾松涛 朱煜 杨开明 李恒 
国家973重点基础研究项目资助(2004CB318007)
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密工作台设计了前馈+反馈+扰动观测...
关键词：精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 
直线电机精密工作台运动控制器设计被引量：5
《微细加工技术》2005年第3期76-80,共5页杨开明 叶佩青 尹文生 
国家863资助项目(2001AA423260)
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器的前馈环节和反馈环节,构成具有两自由度结构的精密工作台运动控制系统。通过实验,与PD+加速度前馈的控...
关键词：精密工作台 直线电机 运动控制 极点配置 
采用实心铁磁体的磁悬浮工作台的系统辨识被引量：7
《微细加工技术》2004年第1期62-67,80,共7页毛军红 高琳 李黎川 
国家自然科学基金资助项目(59975073)
在超精密磁悬浮工作台中,作为衔铁被悬浮的工作台,如果可以不采用硅钢片而直接使用实心铁磁材料,则可以大大简化加工工艺,并提高工作台的刚度,但实心铁磁材料的电涡流效应对工作台性能的影响需要由实验加以确定。针对这一问题,对一个工...
关键词：铁磁体 磁悬浮工作台 系统辨识 精密工作台 电涡流效应 控制性能 
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