合金薄膜

作品数：238被引量：320H指数：9
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磁控溅射Cu-Nb和Cu-Mo薄膜结构与性能被引量：5
《材料导报》2012年第6期49-53,共5页刘国涛 孙勇 郭中正 吴大平 朱雪婷 
云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);国家863计划(2009AA03Z512);稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室开放研究项目(ZDS201012B)
采用磁控溅射制备含1.16%～15.8%(原子分数)Nb的Cu-Nb及含2.2%～27.8%Mo的Cu-Mo合金薄膜,井采用EDX、XRD、SEM、显微硬度仪和电阻计对薄膜的成分、结构和性能进行研究。结果表明,Nb和Mo的添加分别使Cu-Nb及Cu-Mo薄膜晶粒显著细化,Cu-Nb...
关键词：Cu-Nb合金薄膜Cu-Mo合金薄膜纳米晶结构热处理显微硬度 电阻率 
磁控溅射沉积Cu-W薄膜的特征及热处理的影响被引量：5
《材料导报》2011年第6期97-101,共5页周铖 孙勇 郭中正 殷国祥 彭明军 
国家863计划项目(2009AA03Z512);云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);云南省教育厅科学研究基金(09Y0091)
采用磁控共溅射法制备含钨1.51％～14．20％（原子分数，下同）的Cu-W合金薄膜，并用EDX、XRD、SEM、显微硬度仪和电阻仪研究了其成分、结构及性能。结果表明，添加W可显著细化Cu-W薄膜基体相晶粒，晶粒尺寸随W含量的增加而减小，Cu-W...
关键词：Cu—W合金薄膜 纳米晶结构 热处理 显微硬度 电阻率 
磁控共溅射Al-Pb合金薄膜中固溶度的扩展被引量：1
《材料导报》2010年第10期10-13,共4页郭中正 孙勇 李玉阁 周铖 彭明军 
云南省自然科学基金重点资助项目(2004E0004Z);云南省自然科学基金资助项目(2006E0018Q)
利用磁控共溅射法在液氮冷却的衬底(LNCs)上制备了Al-Pb合金薄膜,运用EDX、XRD、TEM和SEM对薄膜成分、结构及形貌进行了研究。结果表明,Al-Pb薄膜在Pb含量为7.38%～2.73%(原子分数,下同)的宽范围内,均存在Al在Pb中的fccPb(Al)亚稳过饱...
关键词：Al—Pb合金薄膜 亚稳固溶体 扩展固溶度 磁控共溅射 
MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展被引量：6
《材料导报》2006年第2期109-113,共5页章磊 谢超英 吴建生 
上海市科技发展基金(02DJ14042);高等学校博士学科点专项科研基金(20020248037)
总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,Ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向。
关键词：微机电系统 形状记忆合金薄膜 力学性能 微机电系统(MEMS) 形状记忆合金(SMA) 加工性能 微加工工艺 耐磨性能 
合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展被引量：8
《材料导报》2005年第12期31-34,共4页晏建武 周继承 鲁世强 田莉 
国家自然科学基金(NO6017043)
综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求。
关键词：合金薄膜 压力传感器 进展 
新型磁存储介质L1_0有序FePt薄膜研究综述被引量：1
《材料导报》2005年第6期91-94,共4页王现英 方铭 李青会 沈德芳 干福熹 
Ll_0有序 FePt 合金薄膜有大的各向异性能、矫顽力和饱和磁化强度,而且根据制备工艺条件的不同,其易磁化轴可以平行或垂直于膜面,因此极有可能成为下一代超高密度磁存储的介质,近年来引起了广泛的关注详细介绍了 FePt 薄膜近年来的研究...
关键词：Pt薄膜 磁存储介质 研究综述 Fe 粒子间相互作用 饱和磁化强度 制备工艺条件 易磁化轴 合金薄膜 超高密度 研究结果 详细介绍 矫顽力 有序化 
Ni-Ti形状记忆合金薄膜的最新研究
《材料导报》2004年第F10期342-344,350,共4页秦桂红 严彪 
Ni—Ti形状记忆合金(SMA)薄膜由于其尺寸小输出功大，是一种具有诱人前景的微机械材料。主要介绍了Ni—Ti薄膜的马氏体相变及时效稳定性、力学性能。并介绍了其最新的应用研究。
关键词：形状记忆合金薄膜 形状记忆合金(SMA) 微机械材料 马氏体相变 力学性能 输出功 稳定性 Ti Ni 时效 
形状记忆薄膜的研究进展被引量：3
《材料导报》2000年第7期8-11,共4页姜训勇 徐惠彬 蒋成保 宫声凯 
回顾了NiTi形状记忆合金薄膜的研究现状。总结了形状记忆合金薄膜的结构及其变化过程、性能特点及其变化规律。
关键词：形状记忆合金薄膜 形状记忆效应 制备 组织结构 
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