红外焦平面器件

作品数：66被引量：343H指数：11
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相关机构：中国科学院西安电子科技大学昆明物理研究所华中科技大学更多>>
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百万像素级红外焦平面器件倒装互连工艺研究被引量：9
《激光与红外》2017年第3期319-321,共3页谢珩 王宪谋 王骏 
国防基础科研计划项目(No.JCKY2016210B002)资助
介绍了倒装互连技术的工艺原理,阐述了红外焦平面器件倒装互连的工艺特点。通过系列实验和分析,最终优化并确定了百万像素级红外焦平面器件倒装互连的工艺参数,获得了良好的互连效果。
关键词：倒装互连 百万像素 碲镉汞 红外焦平面 
利用傅里叶变换测量红外焦平面器件响应光谱被引量：1
《激光与红外》2016年第2期200-203,共4页王溪 林春 林加木 赖嘉毅 丁瑞军 何力 
利用傅里叶变换测量光谱的方法具有大通量、高信噪比的优势,在红外测试领域具有重要的应用价值。利用步进扫描和时间分辨的方法,可以同步傅里叶变换红外光谱仪动镜移动和焦平面器件的输出,获得高质量的干涉图,从而计算得到器件的响应光...
关键词：傅里叶变换红外光谱 红外焦平面探测器 步进扫描 
InSb红外焦平面器件台面刻蚀工艺研究被引量：6
《激光与红外》2016年第1期72-75,共4页谭振 亢喆 李海燕 
传统的湿法腐蚀工艺由于各向同性的特点,象元钻蚀严重,导致器件占空比下降,限制了锑化铟大面阵红外焦平面的发展。基于电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,以BCl3/Ar为刻蚀气体,研究了不同气体配比、工作压力、RF功率对刻蚀效果的影响,获得...
关键词：电感耦合等离子体(ICP) 锑化铟 台面刻蚀 刻蚀速率 刻蚀形貌 
CO_2激光对HgCdTe焦平面器件热力作用的理论分析被引量：2
《激光与红外》2013年第4期360-365,共6页雷鹏 聂劲松 李化 卞进田 王玺 
国家"973"计划项目资助
利用有限元分析方法,对CO2连续激光辐照HgCdTe红外焦平面器件的温升效应和热应力效应进行模拟计算,模型的建立加入了In柱对实验的影响。对温度及热应力分布进行分析,结果表明,探测器的温度分布随着激光辐照时间的增加而出现明显的变化...
关键词：HgCdTe红外焦平面器件 有限元方法 In柱 温升效应 热应力 
红外焦平面器件开窗寻址电路的设计被引量：2
《激光与红外》2012年第8期928-931,共4页胡大江 孟丽娅 刘泽东 
国家自然科学基金项目(No.60702007)资助
基于可综合风格的Verilog HDL技术,采取控制单元与数据通道分离的设计结构,对320×256红外焦平面阵列的开窗寻址电路进行RTL级建模,设计了具有对红外焦平面阵列任意开窗寻址功能和读出顺序可上下左右翻转功能的寻址电路。并在Cadence NC...
关键词：开窗寻址 红外焦平面阵列 读出电路 VERILOG HDL 算法状态机 
10.6μm激光对HgCdTe焦平面器件热应力的分析
《激光与红外》2012年第7期790-794,共5页郝向南 聂劲松 李化 卞进田 雷鹏 
国家"973"计划项目资助
建立了HgCdTe红外焦平面器件的多膜层理论模型,利用有限元分析的方法,对10.6μm激光辐照下HgCdTe红外焦平面器件的升温情况与热应力分布情况进行模拟,并通过参考已有文献的实验结果,验证了理论模型的合理性。理论分析结果表明:激光作用...
关键词：HgCdTe红外焦平面器件 热失配效应 激光热应力作用 有限元分析 
红外焦平面器件线性度测试误差分析被引量：2
《激光与红外》2012年第6期663-666,共4页陈洪雷 郝立超 丁瑞军 黄爱波 张君玲 
介绍了线性度测试的定义及测试方法。测试了中波红外焦平面器件的线性度,并针对实验室测量线性度带来的误差进行分析,为红外焦平面器件线性度的测量提供理论和实验依据。该实验证明了测试线性度中黑体发射率误差是致命因素;同时也测得...
关键词：焦平面 线性度 黑体发射率 标准偏差 
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