反应离子

作品数：373被引量：643H指数：11
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泳池水中三卤甲烷的多反应离子监测模式-吹扫捕集-气相色谱质谱测定法
《环境与健康杂志》2025年第3期255-259,共5页蒙华俊 秦依 王帅琦 龙婷 张琳岚 田飞 
铜仁市科技计划项目(202427号)。
目的建立了多反应离子监测模式-吹扫捕集-气相色谱质谱联用技术同时检测泳池水中4种三卤甲烷(THMs,包括三氯甲烷、二氯一溴甲烷、一氯二溴甲烷和三溴甲烷)的方法。方法通过吹扫捕集对水样中的THMs进行提取、富集,经DB-5MSUI色谱柱(30 m...
关键词：三卤甲烷 泳池水 气相色谱-三重四级杆质谱联用法 吹扫捕集 
GaAs基底上制备圆孔阵列光栅及其影响因素研究
《桂林电子科技大学学报》2024年第3期323-330,共8页石铸 全保刚 阚强 胡放荣 
国家自然科学基金(62065005,62003107);广西自然科学基金(2018GXNSFAA050043,2020GXNSFDA238019,2020GXNSFBA238012)。
为解决半导体激光器的偏振问题,提出了一种利用泰尔博特位移光刻曝光技术在Ga As衬底上制作周期光栅的方法,并系统研究了工艺参数和抗反射层对制备的周期光栅质量的影响。利用二次光刻工艺和反应离子蚀刻工艺在Ga As衬底上制备圆孔阵列...
关键词：泰尔伯特位移光刻曝光技术 光栅 反应离子蚀刻 电感耦合等离子蚀刻 半导体激光器 
基于蓝宝石材料的微结构增透性能研究
《中国激光》2023年第22期63-71,共9页张文妮 曹红超 孔钒宇 张益彬 汪瑞 晋云霞 邵建达 
国家重点研发计划(2020YFA0714500);国家自然科学基金(61875212,U1831211);上海市战略性新兴产业发展专项基金(31011442501217020191D3101001);中国科学院国际合作项目(181231KYSB20200040);中国科学院战略性先导科技专项(A类)资助(XDA25020314)。
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微...
关键词：薄膜 增透微结构 干涉曝光 反应离子束刻蚀 
基于介电泳微流控芯片实现amol级分子量检测
《微纳电子技术》2023年第5期770-778,共9页周博华 林琳 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151)。
设计并制作了一种快速检测宫颈癌细胞C4II的微流控芯片。制作的微芯片结构是采用电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICP-RIE)工艺制备的硅模具为核心的复合结构,微芯片中包含一个10×10的微腔室阵列,单个微腔室底面半径40μm,高度500μm,...
关键词：微流控芯片 介电泳(DEP) 电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICP-RIE) 微腔室 核酸探针 滤波片 
三重四极杆气质联用仪多反应离子监测模式检测三种常见邻苯二甲酸酯被引量：2
《现代食品》2022年第16期210-213,共4页郑烽 郝国辉 李楠楠 韩凯 
本文提供了一种利用三重四极杆气质联用仪多反应离子监测模式检测3种常见邻苯二甲酸酯(Phthalate Esters,PAEs)的方法。通过对离子对、碰撞能量的筛选,获得离子对强度最大的质谱条件。实验结果表明,方法准确度、精密度满足验证的要求,...
关键词：三重四极杆气质联用仪 邻苯二甲酸酯 方法验证 
单晶铌酸锂薄膜光波导的制备研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2021年第1期44-49,共6页高琴 乔石珺 帅垚 杨小妮 罗文博 吴传贵 张万里 
国家重点研究发展计划项目(2017YFB0406400);国家自然科学基金项目(No.51772044)。
为了优化单晶铌酸锂薄膜光波导的性能,研究了基于单晶铌酸锂薄膜材料的光波导刻蚀工艺。虽然Ar^(+)物理刻蚀能够达到最高95 nm/min的刻蚀速率,但难以获得光滑的波导侧壁,且以Cr作为掩膜的刻蚀选择比为1∶1,这意味着较差的选择性使其难...
关键词：铌酸锂 氩离子刻蚀 反应离子刻蚀 光波导 
环境适应性中红外宽带减反射元件的研制被引量：4
《中国激光》2020年第3期48-53,共6页张晗宇 崔云 孙勇 张益彬 王勇禄 周秦岭 邵建达 
通过微结构结合镀膜的方法成功设计和制备了中红外宽带减反射元件。首先,利用FDTD Solutions软件,模拟了微结构周期、占空比、高度以及膜层厚度对所需波段透射率的影响规律,得到较好增透效果的微结构和膜层结构参数;根据设计参数,采用...
关键词：光学器件 减反微结构 时域有限差分法 干涉曝光 反应离子束刻蚀 
全息光刻-反应离子束刻蚀制作硅光栅被引量：1
《安徽工程大学学报》2019年第6期28-32,45,共6页郑衍畅 王铭 胡华奎 王雅楠 杨春来 王海 
国家自然科学基金资助项目(11705001);安徽省自然科学基金资助项目(1808085QA12,1708085ME105)
全息光刻-反应离子束刻蚀是一种非常重要的制作光栅的方法,而如何解决全息曝光中的驻波问题,提高光栅的制作质量,实现该方法向硅材料等高反射率基底的推广应用是一项急需解决的问题。研究开发了一套完整可行的全息光刻-反应离子束刻蚀...
关键词：硅光栅 全息光刻 反应离子束刻蚀 驻波 感应耦合等离子体刻蚀 
车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法被引量：1
《光电工程》2018年第4期72-77,共6页王灏 董连和 朱国栋 张东 张为国 
为解决石英非球面微透镜阵列加工所面临的工艺可控性差且面型精度不高这两大难点,提出了一种基于车削掩模刻蚀的石英玻璃元件制作方法。该方法主要使用了单点金刚石车削加工技术与反应离子刻蚀技术,研究了掩模材料车削及刻蚀性能,并利...
关键词：掩模 石英玻璃 非球面微透镜阵列 金刚石车削 反应离子刻蚀 
圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制被引量：7
《红外与激光工程》2017年第9期108-114,共7页郭旭东 董亭亭 付跃刚 陈驰 温春超 
吉林省自然科学基金(140101JC010015467)
采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参...
关键词：蛾眼 抗反射微纳结构 反射率 时域有限差分法 反应离子刻蚀 
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