非球面光学

作品数：106被引量：325H指数：9
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非球面光学元件的面形检测专利技术现状
《中国科技信息》2024年第17期50-52,共3页龚艳霞 拓天甜 董环环 
非球面光学元件是表面形状偏离球面的光学元件,具有自由度高、灵活性强的特点,具有广泛的应用前景,但其检测方法是阻碍其发展的一大难题。以非球面光学元件的面形检测技术的专利申请作为分析对象,本文重点分析全球范围内关于非球面光学...
关键词：非球面光学元件 面形检测 表面形状 专利申请 申请量 专利技术 技术分支 检测方法 
用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件
《光学学报》2024年第14期119-125,共7页张海涛 谢常青 
国家自然科学基金(62375281);应用光学国家重点实验室开放基金(SKLAO2021001A05)。
提出一种同时出射3个波前的复合三相位计算全息图(CGH),并将其应用于波前误差校正。通过6次组合测量标定出CGH基底制造误差和图形位置误差,并在检测结果中予以消除。所测试的极紫外光刻(EUVL)非球面光学元件峰谷(PV)值和均方根(RMS)误...
关键词：测量 非球面 复合相位 计算全息图 组合测量 
非球面光学元件的快速制造技术被引量：1
《光电工程》2024年第1期1-31,共31页王龙飞 胡雨旺 张泽光 刘悦 薛常喜 
吉林省自然基金资助项目(20220101124JC)。
为满足光学行业的市场需求,非球面光学元件的快速制造技术是实现低成本、批量化、高精度生产的最佳解决方案之一。本文主要介绍了非球面光学元件的快速制造技术,包括精密光学玻璃模压成型技术和精密光学塑料注射成型技术,并对两种技术...
关键词：非球面 光学元件 模压成型 注塑成型 快速制造技术 
基于PLC控制的光学玻璃精密模压试验装置的研究
《工业仪表与自动化装置》2023年第2期8-12,33,共6页陈庆 张彦宇 黎丹 
湖南省自然科学基金项目(2022JJ60008)。
针对市面上购买的模压设备主要面向生产线且价格昂贵、获得试验数据较少等问题。设计了一种精密的模压装置,该装置利用伺服电机与丝杠一体化模块提供模压动力,能够实时的监控模压过程中的参数。对模压装置的结构和工作原理、硬件参数及...
关键词：PLC控制 伺服电机 精密模压装置 光学玻璃 模压动力 非球面光学玻璃透镜 
非球面光学表面缺陷检测技术现状和发展趋势(特邀)被引量：9
《红外与激光工程》2022年第9期1-20,共20页李明泽 侯溪 赵文川 王洪 李梦凡 胡小川 赵远程 周杨 
非球面光学元件具有更大的自由度和灵活性,广泛应用在航空航天、微电子装备、光学精密测量、激光光学等诸多领域。光学元件表面缺陷将影响光学系统性能,而表面缺陷控制需要相应检测手段,高分辨率、高精度、高效率光学表面缺陷检测仍存...
关键词：缺陷检测 表面缺陷 非球面光学元件 条纹反射法 
非球面光学元件面形误差边缘处理方法(特邀)被引量：3
《红外与激光工程》2022年第9期40-46,共7页吴伦哲 徐学科 吴令奇 王哲 
计算机控制光学元件面形修复(Computer Control Optics Surfacing, CCOS)需要通过计算驻留时间,反复迭代,从而得到更小的误差。因为干涉测试过程中边缘面形测试的条件限制,只能得到更小孔径的误差分布图,所以面形的预测性延拓是磁流变...
关键词：光学元件测试 面形误差延拓 Zernike拟合 LAPLACE方程 
非球面光学元件面型检测技术研究进展与最新应用被引量：32
《中国光学》2022年第2期161-186,共26页梁子健 杨甬英 赵宏洋 刘圣安 
国家自然科学基金资助项目(No.61627825)。
非球面光学元件,特别是其中的自由曲面元件,在设计自由度上相比于球面具有很大的优势,基于非球面构建的光学系统能够以简单的光机结构实现复杂的设计目的。面型检测技术是保障光学非球面加工精度的关键,针对不同种类的非球面以及非球面...
关键词：非球面检测 自由曲面检测 干涉检测 零位检测 非零位检测 
气囊抛光机床自动对刀精度分析
《厦门大学学报（自然科学版）》2020年第4期560-565,共6页黄雪鹏 王振忠 林泽文 钟波 
深圳市科技计划项目(JCYJ20180306172924636)。
因气囊头为半球形,其与工件相对空间位置关系无法直接用气囊头试切工件获得.因此,提出测头和对刀仪结合的自动对刀系统.通过对刀误差分析,找出该对刀方案的主要误差来源为B轴摆臂回转误差,进而提出使用测头来获取工件的摆放误差和中心...
关键词：非球面光学元件 精密抛光 测头 回转误差 
研究刀具摆动法加工轴对称非球面光学新技术
《广西农业机械化》2020年第3期24-24,26,共2页徐学 
机械设计制造行业中机械在制造过程最难以解决的问题就是非球面光学零件在加工中较为困难,为了解决其问题本文基于轴对称二次非球面提出了机械在制造中对于非球面摆动加工的新方法。但是由于目前的光学加工技术面对一些较为复杂的光学...
关键词：刀具摆动法 非球面光学零件 粗糙度 
轴对称非球面绝对形状误差测量
《机械工程学报》2020年第6期220-220,共1页林炜晟 宋震国(指导) 陈政寰(指导) 
非球面光学元件表面形貌的干涉测量因须透过计算机全像片、零透镜等补偿元件提供与待测元件相匹配的理想非球面波前,故需严谨与复杂的程序进行测量系统即包含干涉仪内部光路系统对准误差、参考球面镜头与补偿元件等误差的校正。
关键词：干涉测量 非球面光学元件 干涉仪 轴对称非球面 补偿元件 形状误差 光路系统 测量系统 
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