氟化非晶碳薄膜

作品数：23被引量：80H指数：7
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CC双键对氟化非晶碳薄膜I-V特性的影响被引量：9
《物理学报》2004年第5期1496-1500,共5页叶超 宁兆元 程珊华 辛煜 许圣华 
江苏省高校省级重点实验室开放课题 (批准号 :KJS0 10 12 );国家自然科学基金 (批准号 :10 175 0 48)资助的课题~~
研究了电子回旋共振等离子体技术沉积的氟化非晶碳 (a_C :F)薄膜的电学性质 .发现对于不同C_Fx 含量的薄膜 ,CC含量的增大对薄膜的导电行为具有不同的影响 .薄膜的直流I_V特性呈现I =aV +bVn规律 ,是低场强区的欧姆导电和高场强区的空...
关键词：氟化非晶碳薄膜 直流伏安特性 电子回旋共振等离子体技术 碳=碳双键 空间电荷限流 带尾态密度 
微波输入功率引起a-C∶F薄膜交联结构的增强被引量：16
《物理学报》2002年第11期2635-2639,共5页黄松 辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 
国家自然科学基金 (批准号 :1 0 1 75 0 48)资助的课题
使用C2 H2 和CHF3 的混合气体 ,在改变微波功率的条件下 ,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积方法制备了氟化非晶碳薄膜 (a C∶F) .薄膜的傅里叶变换红外光谱分析结果表明 :薄膜中的CC与C—F键含量的比值随功率的增加而相应...
关键词：微波输入功率 a-C:F薄膜 交联结构 氟化非晶碳薄膜 傅里叶变换红外光谱 X射线光电子能谱 
氟化非晶碳薄膜的光学带隙分析被引量：10
《物理学报》2002年第11期2640-2643,共4页叶超 宁兆元 程珊华 王响英 
江苏省高等学校省级重点实验室开放课题 (批准号 :KJS0 10 12 );国家自然科学基金 (批准号 :10 175 0 48)资助的课题
研究了CHF3 C6 H6 沉积的氟化非晶碳 (α C∶F)薄膜的光学带隙 .发现α C∶F薄膜光学带隙的大小取决于薄膜中C—F ,CC的相对含量 .这是由于CC形成的窄带隙π键和C—F形成的宽带隙σ键含量的相对变化 ,改变了带边态密度分布的结果 .在...
关键词：氟化非晶碳薄膜 光学带隙 键结构 α-C:F薄膜 
真空退火对氟化非晶碳薄膜结构的影响被引量：13
《物理学报》2002年第6期1383-1387,共5页黄峰 程珊华 宁兆元 杨慎东 叶超 
国家自然科学基金 (批准号 :10 175 0 48)资助的课题~~
在苯 (C6H6)和四氟化碳 (CF4)混合气体中 ,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术 (ECR CVD)在不同功率下制备了氟化非晶碳膜 (a C :F) ,为了检测膜的热稳定性对其进行了真空退火处理 ,测量了退火前后膜厚的变化率 ,并用傅里叶变...
关键词：氟化非晶碳薄膜 结构 ECR-CVD a-C:F薄膜 真空退火 超大规模集成电路 
电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质被引量：8
《物理学报》2001年第10期2017-2022,共6页叶超 宁兆元 程珊华 
江苏省自然科学基金 (批准号 :L310 870 3)~~
用紫外 可见光透射光谱 (UV VIS)并结合键结构的X射线光电子能谱 (XPS)和红外谱 (FTIR)分析 ,研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备的氟化非晶碳薄膜的光吸收和光学带隙性质 .在微波功率为 14 0—70 0W、源气体CHF3∶C6 ...
关键词：电子回旋共振等离子体增强沉积 氟化非晶碳薄膜 光学性质 光吸收 光学带隙 
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CF_x薄膜的化学键结构被引量：16
《物理学报》2001年第3期566-571,共6页宁兆元 程珊华 叶超 
江苏省自然科学基金!(批准号 :L310 870 3)资助的课题
使用CHF3 和C6H6混合气体做气源 ,在一个电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积装置中制备了氟化非晶碳 (a CFx)薄膜 .利用发射光谱研究了等离子体中形成的各种碳 氟、碳 氢基团随放电宏观参量的变化规律 ,对薄膜做了傅里叶变换红外光...
关键词：氟化非晶碳薄膜 电子回旋共振等离子体 沉积速率 化学键结构 
微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法沉积氟化非晶碳薄膜的研究被引量：24
《物理学报》2001年第4期784-789,共6页叶超 宁兆元 程珊华 康健 
使用三氟甲烷和苯的混合气体 ,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备了F/C比在0 11— 0 6 2之间的α C∶F薄膜 .研究了微波功率对薄膜沉积和结构的影响 ,发现微波功率的升高提高了薄膜的沉积速率 ,降低了薄膜的F/C比 ...
关键词：氟化非晶碳薄膜 键结构 介电性质 ECRPECVD 沉积速率 成分 
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