靶制备

作品数：79被引量：230H指数：8
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硫化物靶与单质靶制备Cu_2ZnSnS_4薄膜的比较研究被引量：1
《无机材料学报》2019年第5期529-534,共6页徐信 王书荣 马逊 杨帅 李耀斌 杨洪斌 
西南地区可再生能源研究与开发协同创新中心项目(05300205020516009);国家自然科学基金(61167003)~~
为了验证磁控溅射硫化物靶替代单质靶制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜及太阳电池的可行性与优越性,采用多周期磁控溅射ZnS-Sn-CuS和Zn-Sn-Cu制备CZTS薄膜,并分析了使用不同溅射靶材对薄膜晶体结构、相纯度、表面粗糙度、化学组分、表面、截...
关键词：铜锌锡硫薄膜 太阳电池 二元硫化物靶 金属单质靶 
ICF微靶数字化制造设计与实现被引量：1
《太赫兹科学与电子信息学报》2018年第4期703-708,共6页粟强 杨存榜 张涛 蒋柏斌 杨洪 
惯性约束聚变(ICF)微靶(靶丸)是惯性约束聚变物理设计思想的直接体现,其制备过程有着非常明显的特点:精确度要求高;工件尺度小且跨度大;面向的材料范围广;靶型多,批量小,且数量多;结构形状复杂且多种多样;传统方式制备工艺繁琐且制备周...
关键词：惯性约束聚变(ICF) 靶制备 数字化制造 信息技术 
^(124)Xe气体靶制备高纯度^(123)I装置中气体处理系统的研制被引量：1
《中国原子能科学研究院年报》2007年第1期299-300,共2页刘玉平 赵贵植 张宝琦 刘涉洋 邓雪松 
^123Ⅰ是核医学应用的重要核素。为得到高质量^123Ⅰ，在30MeV质子能量范围内，国际上使用最多的方法是照射^124Xe气体靶。欲得到高纯度^123Ⅰ，必须使用丰度〉199．80％的^124Xe气体作靶物。为了在实验室中最大限度的减少昂贵^124Xe的...
关键词：气体处理系统 纯度 靶制备 装置 医学应用 能量范围 密封性能 气体系统 
直流溅射ZnO导电靶制备ZnO:Al透明导电薄膜被引量：5
《武汉理工大学学报》2007年第4期52-54,共3页方斌 官文杰 陈欣 陈志强 
利用直流(DC)磁控溅射导电率良好的ZnO:Al陶瓷制备ZnO:Al透明导电薄膜。在不同的温度下对靶的溅射得到的薄膜进行X-ray、AFM、霍尔系数的测量等的分析,研究了溅射温度对膜的薄膜结构电学和光学性能的影响。制得的薄膜均为(002)面的单一...
关键词：ZnO:Al(ZAO)薄膜 直流(DC)磁控溅射 电学性能 
直流磁控溅射陶瓷靶制备ITO薄膜及性能研究被引量：18
《人工晶体学报》2006年第2期272-275,232,共5页夏冬林 杨晟 王树林 赵修建 
武汉理工大学校基金(No.2003XJJ025)资助项目
以10%质量分数SnO2和90%质量分数In2O3烧结成的ITO氧化物陶瓷为靶材,采用直流磁控反应溅射法在玻璃基片上制备ITO透明导电薄膜,研究了基片温度和氧分压条件对ITO薄膜的物相结构和光电性能的影响。实验结果表明:ITO薄膜的方块电阻随衬底...
关键词：直流磁控溅射 ITO薄膜 衬底温度 透过率 
磁控溅射陶瓷靶制备氧化铟锡薄膜的XPS和AFM研究被引量：2
《真空与低温》2003年第2期98-101,共4页常天海 
研究了磁控溅射陶瓷靶制备的氧化铟锡薄膜的微观结构和光电性能;给出了它的XPS、AFM分光光度计测试结果。结果表明:氧化铟锡膜内部Sn以SnO2相存在,In以In2O3相存在,含量分别在5.8%和85.0%左右;薄膜表面十分致密,呈多晶球状微粒均匀分布...
关键词：磁控溅射 陶瓷靶 氧化铟锡薄膜 XPS AFM 分光光度计 光电性能 微观结构 
脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用被引量：25
《强激光与粒子束》2002年第6期873-876,共4页吴卫东 许华 魏胜 唐永建 陈正豪 
国家863惯性约束聚变领域资助课题
　在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗...
关键词：脉冲激光气相沉积 ICF 薄膜靶 制备 准分子激光器 
液体中激光烧蚀固体靶制备纳米晶金刚石被引量：13
《高压物理学报》1998年第4期303-306,共4页王金斌 刘秋香 杨国伟 陈雄群 游建强 
湖南省中青年科技基金;湖南省自然科学基金;湖南省教委科学基金
一种独特的方法用来制备纳米晶金刚石，即在丙酮溶液中激光烧蚀石墨靶制备纳米晶金刚石。透射电镜（ＴＥＭ）和高分辨电镜（ＨＲＥＭ）分析表明，所制备的纳米晶金刚石为立方金刚石和六方金刚石晶体。
关键词：激光烧蚀 立方金刚石 六方 金刚石制备 纳米晶 
液体中激光熔蚀固体靶制备氮化碳纳米晶被引量：6
《微细加工技术》1998年第2期24-30,共7页刘秋香 王金斌 杨国伟 
国家教委优秀年轻教师基金;湖南省自然科学基金;湖南省教委科学基金
本文提出一种独特的激光熔蚀法即在液体中激光熔蚀固体靶制备纳米晶，并且首次在氨水中激光熔蚀石墨靶制备出氮化碳纳米晶。透射电镜（ＴＥＭ）和高分辨率电镜（ＨＲＥＭ）分析表明制备的氮化碳纳米晶由α－Ｃ３Ｎ４、β－Ｃ３Ｎ４和Ｇ...
关键词：激光熔蚀 氮化碳 液体 固体靶 纳米晶 
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