PACVD

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RF等离子体性能对沉积的PACVD CNx层的影响
《等离子体应用技术快报》1999年第3期18-19,共2页李乐 
关键词:PACVD 射频 等离子体性能 氮化碳涂层 
PACVD涂镀的金属陶瓷工具的发展与评价
《等离子体应用技术快报》1998年第6期1-3,共3页王惠三 
关键词:金属陶瓷 PACVD 涂层 金属切削 刀具 
用PACVD制备CNx—膜层
《等离子体应用技术快报》1998年第2期7-9,共3页普民 
关键词:PACVD 碳先驱粒子 薄膜沉积 等离子体 
新的PACVD工艺
《等离子体应用技术快报》1997年第9期1-3,共3页王惠仁 
关键词:PACVD CVD 薄膜沉积 等离子体 
等离子体辅助CAD制备坚硬的单层和多层涂层
《等离子体应用技术快报》1997年第4期17-17,共1页杨继芳 
关键词:等离子体 PACVD 金属 涂层 单层 多层 
在外科用植入物Ti合金上进行等离子体表面处理和PACVD
《等离子体应用技术快报》1997年第1期3-4,共2页杨继芳 
关键词:外科植入物 钛合金 等离子体 PACVD 表面处理 
用PACVD法在钢和金属陶瓷基体上合成TiN/TiCN/TiC表面层系
《等离子体应用技术快报》1996年第12期4-5,共2页康卫红 
关键词: 金属陶瓷 喷镀 PACVD 
使用金属有机物化合物和PACVD方法制备硬涂层
《等离子体应用技术快报》1996年第12期8-9,共2页张正模 
关键词:金属有机化合物 PACVD 等离子体涂层 
PACVD TiN涂层抗腐蚀性和机械特性的改进
《等离子体应用技术快报》1996年第12期13-15,共3页张正模 
关键词:PACVD 氮化钛 涂层 抗腐蚀 机械特性 
r.f.PACVD制备的a—B1—xNx:H薄膜的微观结构及机构特性
《等离子体应用技术快报》1996年第7期15-16,共2页王军 
关键词:射频 PACVD    薄膜 微结构 
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