压电陶瓷驱动器

作品数：163被引量：713H指数：12
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基于自适应PI模型的压电陶瓷驱动器精密定位方法
《传感技术学报》2024年第3期499-506,共8页杨宁征 王艳艳 渠莉莉 
天津是自然科学基金面上项目(23JCYBJC01070);天津市教委科研计划项目(2022KJ111)。
由于具备较高的定位精确度,压电陶瓷驱动器在超精密加工、微纳米测试等领域应用广泛,然而压电陶瓷固有的迟滞性严重影响其定位精确度。研究了驱动范围对压电陶瓷驱动器迟滞性的影响,实验得出迟滞性随驱动范围增大而显著。而在压电陶瓷...
关键词：压电陶瓷驱动器 迟滞 自适应PI模型 前馈控制器 
压电陶瓷驱动器迟滞建模方法研究被引量：8
《传感技术学报》2019年第4期562-567,共6页王艳艳 边焱 郭海 
天津市自然科学基金青年项目(18JCQNJC05600);天津市科技计划项目(17KPXMSF00120);天津市教委科研计划项目(JWK1612)
压电陶瓷驱动器是原子力显微镜(AFM)的关键组件。AFM在生物、材料及半导体等领域应用广泛,而利用AFM获得高精确的测试结果依然面临诸多挑战。其中,压电陶瓷驱动器具有迟滞、非线性等特点,在大范围高频工作状态下,对定位精度的影响更显著...
关键词：压电陶瓷驱动器 迟滞性 动态多项式拟合 逆模型 AFM 
AFM压电陶瓷驱动器类Hammerstein建模与参数辨识被引量：9
《传感技术学报》2015年第1期23-27,共5页徐运扬 徐康康 沈平 
国家重点基础研究发展计划基金项目(973)(2011CB013104)
AFM(Atomic Force Microscope,原子力显微镜)中的压电陶瓷驱动器具有率相关迟滞非线性特性,这会影响AFM的扫描和定位精度。针对传统静态迟滞模型不能反映系统率相关动态迟滞特性的缺陷,提出Hammerstein模型以描述压电陶瓷驱动器的静态...
关键词：压电陶瓷驱动器 非线性建模 HAMMERSTEIN模型 系统辨识 支持向量机 
HHT算法在压电陶瓷驱动器的微纳米位移传感器中的应用（英文）被引量：4
《传感技术学报》2014年第4期456-462,共7页胡欢 余永 王慧 吴倩 葛运建 
CNSF(60635040);National“863”((2007AA04Z20)
从传感器中采集到的信号即使经过了模拟滤波,但是其通过数据采集系统后仍然会含有随机噪声。然而,这些随机噪声会限制传感器的分辨率和影响系统的动态范围。针对这一问题,利用HHT算法的经验模态分解对从基于压电陶瓷驱动的微纳米传感器...
关键词：纳米位移传感器 压电陶瓷驱动器 希尔伯特-黄变换算法 经验模态分解 信号处理 
大位移压电陶瓷驱动器的有限元分析被引量：11
《传感技术学报》2007年第10期2239-2242,共4页崔艳梅 刘向锋 高志 
为研究压电陶瓷驱动器的驱动效能,制作了大位移压电陶瓷驱动器.基于压电陶瓷材料的机电耦合特性,应用动力学有限元分析方法,将大位移压电陶瓷驱动器离散成一系列四面体单元,分别进行了力学和电学分析.根据压电陶瓷的基本压电方程,耦合...
关键词：压电陶瓷 有限元分析 机电耦合 驱动器 
压电陶瓷驱动器非线性建模研究被引量：5
《传感技术学报》2006年第4期1079-1082,共4页纪华伟 杨世锡 吴昭同 
国家自然科学基金资助(50205025);浙江省自然科学基金资助(502021)
压电陶瓷驱动器电压位移之间的非线性特点严重影响着它的位移控制精度,建立压电陶瓷驱动器非线性模型是纳米级微位移测控中的关键环节。采用支持向量机回归的方法,通过引入核函数和损失函数将非线性回归转化成线性问题并提高回归精度,...
关键词：压电陶瓷驱动器 非线性建模 支持向量机 支持向量回归 
梯度功能压电陶瓷驱动器的弯曲谐振特性研究
《传感技术学报》2002年第1期24-28,共5页陈海龚 郭晓波 孟中岩 
国家自然科学基金资助 (5 9782 0 0 9);上海市自然科学基金重点资助 (0 0 JC14 0 5 5)
本文采用粉末冶金法研制了 PZT系独石型梯度功能压电陶瓷驱动器 .对该驱动器弯曲谐振的固有频率进行了实验研究 ,并由双层复合悬臂梁模型推导了弯曲谐振的固有频率 .
关键词：梯度功能材料 压电独石驱动器 弯曲谐振 固有频率 
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