PZT厚膜

作品数：32被引量：41H指数：3
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相关领域：电子电信化学工程更多>>
相关作者：褚家如王大志许晓慧彭强祥冯艳更多>>
相关机构：中国科学技术大学大连理工大学上海交通大学中国科学院更多>>
相关期刊：《硅酸盐学报》《辐射研究与辐射工艺学报》《应用声学》《压电与声光》更多>>
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基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计
《微细加工技术》2006年第6期28-31,共4页乔治 许宝建 周洪波 金庆辉 赵建龙 
"973计划"资助项目(2005CB724305);中国科学院重要方向项目资助(KGCX2-SW-10)
设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation...
关键词：微喷芯片 PZT驱动器 回流 CFD模拟 
PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究被引量：6
《微细加工技术》2005年第4期48-51,共4页方华斌 刘景全 徐峥谊 王莉 陈迪 蔡炳初 刘悦 
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZ...
关键词：拾振器 PZT厚膜 PT/TI电极 湿法化学刻蚀 干法刻蚀 
基于溶胶-凝胶技术的PZT厚膜快速成膜研究被引量：1
《微细加工技术》2005年第1期58-62,共5页陈超 褚家如 鲁健 
采用快速成膜技术在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上成功制备了总厚度为2 56μm,结构致密且无裂纹的Pb(Zr0 53,Ti0 47)O3铁电厚膜。研究了快速成膜技术中热分解温度对薄膜结晶取向的影响,分析了在相同退火条件下,分别采用不同热分解温度...
关键词：Pb(Zr0.53 Ti0.47)O3 铁电薄膜 溶胶-凝胶法 
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