P型GAN

作品数:29被引量:48H指数:4
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相关机构:中国科学院西安电子科技大学北京工业大学电子科技大学更多>>
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高掺杂低位错p型GaN材料生长研究
《半导体技术》2024年第8期702-707,共6页高楠 房玉龙 王波 韩颖 张志荣 尹甲运 刘超 
对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一...
关键词:金属有机化学气相沉积(MOCVD) Delta掺杂 P型GAN 空穴浓度 半高宽(FWHM) 
非极性a面p型GaN∶Mn薄膜的结构、形貌和铁磁性质
《半导体技术》2008年第S1期127-128,139,共3页孙莉莉 闫发旺 张会肖 王军喜 曾一平 王国宏 李晋闽 
国家自然科学基金(60876068);留学回国人员科研启动基金(08y1010000)
采用离子注入和快速退火技术制备了稀磁非极性a面p型GaN∶Mn薄膜。通过高分辨X射线衍射、原子力显微镜和超导量子干涉仪等测试手段,对样品的结构、形貌和磁性质进行了分析。测试分析结果表明,在退火过程中生成了对样品的铁磁性质起重要...
关键词:稀磁半导体 非极性a面p-GaN 离子注入 室温铁磁性 
p型GaN欧姆接触的研究进展被引量:6
《半导体技术》2004年第8期15-18,33,共5页潘群峰 刘宝林 
国家自然科学基金项目(60276029);福建省自然科学基金项目(A0210006)
宽带隙的GaN作为半导体领域研究的热点之一,近年来发展得很快。p型GaN的欧姆接触问题一直阻碍高温大功率GaN基器件的研制。本文讨论了金属化方案的选择、表面预处理和合金化处理等几个问题,回顾了近年来p型GaN欧姆接触的研究进展。
关键词:宽带隙 GAN 欧姆接触 表面预处理 合金化处理 
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