RB-SIC

作品数：17被引量：50H指数：5
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相关领域：化学工程机械工程更多>>
相关作者：康仁科董志刚郑非非王彤彤高劲松更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊：《机械工程学报》《稀有金属材料与工程》《航天返回与遥感》《光学精密工程》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家商用飞机制造工程技术研究中心创新基金更多>>
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飞秒激光加工参数对RB-SiC表面形貌的影响被引量：1
《表面技术》2024年第3期162-169,共8页吴东江 刘成 杨峰 牛方勇 董志刚 马广义 康仁科 
温大连市高层次人才创新支持计划(2020RD02);辽宁省应用基础研究计划项目(2022JH2/101300208)。
目的揭示飞秒激光加工参数对反应烧结碳化硅(Reaction-Bounded Silicon Carbide,RB-SiC)表面形貌的影响规律。方法通过改变激光能量密度和有效脉冲数,研究RB-SiC表面烧蚀槽的形貌变化规律,确定飞秒激光加工RB-SiC的去除机理。采用扫描...
关键词：飞秒激光 RB-SIC 烧蚀槽 表面形貌 激光能量密度 有效脉冲数 
Laser-assisted grinding of RB-SiC composites:Laser ablation behavior and mechanism被引量：1
《Chinese Journal of Aeronautics》2024年第1期362-376,共15页Zhigang DONG Wenchao SUN Xintong CAI Feng YANG Yan BAO Renke KANG Dongjiang WU Guangyi MA Fangyong NIU 
funded by the Fundamental Research Funds for the Central Universities,China(Nos.DUT21GF403,DUT22YG210,DUT22LAB117);the High Level Talents Innovation Plan of Dalian,China(No.2020RD02);financial support from the Shenzhen Science and Technology Innovation Commission Project,China(No.JSGG20210420091802007)。
Laser ablation is an important process during Laser-Assisted Grinding(LAG)of hard and brittle materials.To realize controllable material removal during laser ablation of RB-SiC composites,ablation experiments under di...
关键词：RB-SIC LASER CERAMIC COMPOSITES GRINDING 
RB-SiC表面飞秒激光烧蚀与抛光工艺研究被引量：5
《中国激光》2023年第24期80-88,共9页陈欢 魏朝阳 曹珍 彭小聪 邵建达 
国家自然科学基金天文联合基金重点(U1831211);上海市青年科技英才扬帆计划(20YF1454800)。
首先基于一维双温模型阐明了飞秒激光与RB-SiC表面的相互作用过程,并在此基础上,开展了RB-SiC表面飞秒激光烧蚀规律与抛光工艺研究。结果表明,通过改变脉冲能量、扫描速度、扫描间距等参数,可实现对烧蚀深度和烧蚀表面质量的有效调控。...
关键词：激光技术 粗糙度 反应烧结碳化硅 飞秒激光抛光 双温模型 
RB-SiC金刚石磨粒柔性刻划材料去除及表面损伤行为被引量：5
《光学精密工程》2022年第14期1704-1715,共12页王亚茹 李英杰 邹莱 韩聪聪 李昱潼 
中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室开放基金资助项目(No.KLOMT-2019-01)。
反应烧结碳化硅(Reaction Bonded SiC,RB-SiC)因具有密度小、导热系数大、热稳定性好等优异性能,被公认为是理想的空间大型反射镜制造材料。然其成形后在表面精密加工过程中易引入加工损伤,故本文开展柔性刻划实验,探究砂带柔性磨削工...
关键词：反应烧结碳化硅 金刚石磨粒 损伤 刻划力 
超声振动对单颗金刚石工具划擦RB-SiC材料去除行为的影响被引量：11
《机械工程学报》2019年第1期225-232,共8页郑非非 董志刚 张嘉桐 刘津廷 康仁科 
国家高技术研究发展计划(863计划;2015AA043402);国家自然科学基金(51575085);国家商用飞机制造工程技术研究中心创新基金资助项目
超声辅助磨削在硬脆材料加工领域的诸多优势已被广泛认可,研究超声辅助磨削机理对于促进超声辅助磨削工艺技术的应用有重要价值。通过单颗金刚石压头模拟砂轮磨粒,在反应烧结碳化硅(Reaction bonded silicon carbide, RB-SiC)上进行超...
关键词：超声辅助划擦 单颗金刚石磨粒 划擦力 划痕形貌 反应烧结碳化硅 
反应烧结SiC陶瓷脆性去除特征及刻划力波动行为被引量：3
《光学精密工程》2018年第3期632-639,共8页李志鹏 张飞虎 孟彬彬 
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB013202);国家重点研发计划资助项目(No.2016YFB1102204)
主要研究不同加工深度及压头形状刻划条件下反应烧结碳化硅(RB-SiC)陶瓷脆性去除特征和刻划力波动行为之间的关系。采用半径分别为400nm的金刚石玻氏压头以及8.7μm的圆锥压头进行恒切深刻划,并利用扫描电子显微镜对刻划后的SiC陶瓷表...
关键词：RB-SIC 脆性断裂 小波分析 刻划力 玻氏压头 圆锥压头 
基于磁控溅射和ICP刻蚀的RB-SiC表面平坦化工艺被引量：1
《光子学报》2018年第3期1-7,共7页赵杨勇 刘卫国 惠迎雪 
国防基础科研项目(No.JCKY2016208A002);陕西省科技厅重点实验室项目(No.2013SZS14-Z02);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(No.15JS032)资助~~
采用射频磁控溅射技术在RB-SiC表面沉积Si平坦化层,通过正交试验研究了射频功率、Ar流量和工作气压三个因素对薄膜表面质量和形貌的影响规律,以获取最佳的薄膜沉积参数.射频功率120 W、工作气压1.2Pa和Ar流量40sccm条件下获得了最佳质...
关键词：光学制造 超光滑表面 射频磁控溅射 RB-SIC Si平坦化层 正交试验 ICP刻蚀 表面粗糙度 
RB-SiC亚表面损伤检测及其旋转超声磨削亚表面损伤特征被引量：5
《光学精密工程》2017年第10期2714-2724,共11页秦娜 郑亮 刘亚龙 孔春雷 
教育部重点实验室开放式基金资助项目(No.JMTZ201605);国家自然科学基金资助项目(No.51305369);中国博士后科学基金资助项目(No.2012M521708);高等学校博士学科点专项科研基金新教师类课题资助项目(No.20130184120007);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.SWJTU11CX023)
分别采用截面抛光法(包括以硅片作陪衬与以聚酯作陪衬两种形式)和界面黏接法检测了反应烧结碳化硅(Reaction Bonded SiC,RB-SiC)旋转超声磨削加工的亚表面损伤。为确定其中的最佳检测形式,采用表面破碎层深度、最大破碎层深度、平均裂...
关键词：旋转超声磨削 反应烧结碳化硅(RB-SiC)材料 亚表面损伤 截面抛光法 界面黏接法 
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性被引量：3
《光学精密工程》2016年第7期1557-1563,共7页刘震 高劲松 刘海 王笑夷 王彤彤 
国家自然科学基金资助项目(No.60478035)
为了消除RB-SiC反射镜直接抛光后表面存在的微观缺陷,降低抛光后表面的粗糙度,提高表面质量,针对大口径SiC的特性,选择Si作为改性材料,利用磁控溅射技术对2m量级RB-SiC基底进行了表面改性。在自主研发的Φ3.2m的磁控溅射镀膜机上进行基...
关键词：光学加工 磁控溅射 表面改性 RB-SIC 大口径 
长条形扫描反射镜的柔性支撑被引量：5
《红外与激光工程》2015年第12期3678-3683,共6页张雷 丁亚林 徐正平 张洪文 张健 郭万存 
国家高技术研究发展计划(2010AA010102)
为适应复杂的工作环境,提高反射镜的面形精度,设计了基于柔性支撑的RB-Si C材料长条形扫描反射镜。采用三角形单元和四边形单元相结合的背部开放式结构,对扫描反射镜进行了轻量化设计;通过分析支撑点跨距对反射镜变形的影响,对支撑点位...
关键词：扫描反射镜 轻量化 柔性支撑 RB-SIC 面形精度 
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