压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
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基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器被引量：11
《微纳电子技术》2021年第4期325-331,共7页单存良 梁庭 王文涛 雷程 薛胜方 刘瑞芳 李志强 
山西省重点研发计划项目(201903D121123);山西省自然科学基金项目(201801D121157,201801D221203)。
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感...
关键词：高温压力传感器 微电子机械系统(MEMS) 压阻效应 灵敏度 倒装封装 
石墨烯/PDMS仿生银杏叶微结构柔性压阻式压力传感器被引量：10
《微纳电子技术》2020年第3期198-203,共6页李伊梦 侯晓娟 张辽原 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51705476);国家重点研发计划资助项目(2019YFF0301802).
柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏...
关键词：压阻式压力传感器 仿生银杏叶微结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 石墨烯油墨 柔性材料 
SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备被引量：9
《微纳电子技术》2018年第6期408-414,共7页李鑫 梁庭 赵丹 雷程 杨娇燕 李志强 王文涛 熊继军 
国家杰出青年科学基金资助项目(51425505)
设计并制备了一种基于绝缘体上硅（SOI）材料、量程为5Pa～1．8MPa的压阻式压力传感器。在设计方面，通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能，得到敏感膜片的尺寸和表面电势的分布；在工艺方面，设计了...
关键词：绝缘体上硅(SOI) 压力传感器 压敏电阻 引线键合 有限元分析 
一种高温压阻式压力传感器的制备与倒装焊接被引量：2
《微纳电子技术》2015年第9期581-585,共5页李丹丹 梁庭 姚宗 李赛男 熊继军 
国家杰出青年科学基金项目(51425505)
通过高温烧结技术得到了总体尺寸为15 mm×15 mm×0.6 mm的低温共烧陶瓷（LTCC）转接基板,并通过丝网印刷方式将转接焊盘的图形转移到经过高温烧结的LTCC转接基板上,形成金凸点和互连线图形;同时利用MEMS工艺中的刻蚀、氧化、金属蒸发...
关键词：SOI高温压力敏感芯片 倒装芯片焊接(FCB) 微机电系统(MEMS)工艺 各向异性导电胶 低温共烧陶瓷(LTCC)转接基板 
压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法被引量：9
《微纳电子技术》2012年第2期96-101,123,共7页韩锐锐 张兆华 任天令 林惠旺 刘理天 
国家自然科学基金资助项目(60936002);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z372);国家科学与技术重大专项资助项目(2011ZX02403-002)
灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分...
关键词：灵敏度 线性度 压阻式压力传感器 有限元分析(FEA) 路径积分 
压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究被引量：3
《微纳电子技术》2007年第7期188-191,共4页许东华 林惠旺 张兆华 谭智敏 刘理天 
浙江省科技攻关重大专项支持(2005C11015);北京市科委项目(GYYKW0507009)
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它...
关键词：压阻式 压力传感器 零点输出 零点温漂 
硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究被引量：10
《微纳电子技术》2007年第7期48-50,共3页孙凤玲 于海超 王金文 方建雷 杨永刚 
微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压力芯片的惠...
关键词：硅压阻式压力传感器 漂移 惠斯顿电桥 补偿 优化 
硅压力传感器芯片设计分析与优化设计被引量：13
《微纳电子技术》2006年第9期438-441,共4页赵艳平 丁建宁 杨继昌 王权 薛伟 
浙江省科技攻关计划项目(2005C31048)
用弹性力学和板壳力学理论分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法和借助ANSYS仿真软件,对微型硅压阻式高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟,探讨...
关键词：压阻式压力传感器 力敏电阻 芯片 优化设计 
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