SI薄膜

作品数：76被引量：90H指数：5
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Ti-Al共掺杂Si薄膜的光电性能增强机理研究
《功能材料》2023年第10期10021-10029,10038,共10页陈玉杰 杨洪旺 林宇蓓 邝向军 温才 
国家自然科学基金项目(51974261);四川省中央引导地方科技发展资金面上项目(2022ZYD0013)。
Ti超掺杂Si(Si:Ti)薄膜是通过脉冲激光的非平衡作用,在Si中掺入超固溶度3个数量级以上的高浓度Ti杂质形成。它摆脱了Si禁带宽度的限制,具有优异的亚带隙近红外(λ=1100~2500 nm)光吸收性能。通过真空电子束蒸发结合紫外纳秒激光熔融的方...
关键词：纳秒激光 共掺杂 Si 电学性能 光吸收性能 费米能级 
具有纳米级表面裂纹的Si薄膜裂纹扩展模拟
《传感器与微系统》2023年第7期23-27,共5页许昌华 李梦一 茅寅 廖鹏飞 戴隆超 唐纯 
国家自然科学基金面上资助项目(11372269)。
以柔性材料为基础结合微纳米加工与集成技术,设计制造可实现各种功能的柔性电子元器件成为了研究的热点,其中作为重要组成的硅备受关注。普遍认为材料的宏观变形行为与微观材料变形机制有关,因此本文旨在基于分子动力学(MD)模拟研究弯...
关键词：单晶硅 裂纹扩展 大规模原子分子并行模拟器 表面裂纹 
分层溅射法制备晶向可控的Mg_(2)Si薄膜
《固体电子学研究与进展》2022年第1期38-43,共6页廖杨芳 谢泉 
贵州省科技计划项目(黔科合基础[2019]1225号);贵州师范大学资助博士科研项目(GZNUD[2018]15号)。
采用分层溅射法在石英衬底上制备了结晶良好的Mg_(2)Si多晶薄膜。当Si膜的溅射时间均为25 min、Mg膜的溅射时间为18~22 min、退火温度为375℃时,随着膜厚增加,Mg_(2)Si薄膜的织构由(311)向(220)转变;退火温度为400℃时,薄膜的最强衍射...
关键词：Mg_(2)Si 薄膜 分层溅射 晶向可控 石英衬底 
脉冲激光沉积法制备Mn-Co-Ge-Si薄膜的研究被引量：2
《应用物理》2022年第2期61-67,共7页高鑫 钱凤娇 杨浩 
Mn-Co-Ge基块体合金具有优异的磁热性能,但由于磁结构耦合特性,导致在进行磁热转换时合金块材容易发生碎裂。将块材样品制备成薄膜状态是目前提高其韧性的重要手段之一。本文采用脉冲激光沉积技术制备出Mn-Co-Ge-Si薄膜样品,研究衬底种...
关键词：Mn-Co-Ge-Si薄膜 磁制冷 磁相变 磁热性能 
BiSI薄膜紫外光电探测器的研究
《材料科学》2022年第1期40-47,共8页杨博 余新媛 K. P.Homewood 雷丙龙 高云 
三元硫卤化物BiSI具有光电导率高、光吸收系数高(>105 cm−1)和带隙宽度(1.57 eV)合适等优点,在光电领域得到了广泛的应用。目前BiSI晶体和薄膜的常见制备方法中存在工序复杂、合成温度高、反应时间长和易引入BiOI杂相的缺点,在光电...
关键词：BiSI薄膜 紫外光探测 响应度 探测率 
Si(111)衬底上Mg_(2)Si薄膜的XRD和拉曼光谱研究
《固体电子学研究与进展》2021年第5期376-381,共6页廖杨芳 谢泉 
贵州省科技计划项目(黔科合基础[2019]1225号);贵州师范大学资助博士科研项目(GZNUD[2018]15号)。
采用磁控溅射方法在Si(111)衬底上分别沉积不同厚度的Mg膜,然后低真空退火处理得到结晶良好的Mg_(2)Si薄膜。一定条件下,Mg膜的最优沉积厚度为2300 nm,对应的Mg_(2)Si(220)衍射峰最强。所有样品均出现256 cm^(-1)附近的拉曼散射峰,该峰...
关键词：Mg_(2)Si 薄膜 硅衬底 X射线衍射 扫描电子显微镜 拉曼 
离子束溅射宽带吸收薄膜设计与制备技术研究
《红外与激光工程》2019年第2期254-258,共5页姜玉刚 刘小利 刘华松 刘丹丹 王利栓 陈丹 姜承慧 季一勤 
国家自然科学基金(61705165;61775167;61235011);天津市自然科学基金(18JCZDJC37900)
Si薄膜在可见光和近红外波段具有一定的吸收特性,可用于宽带吸收薄膜的制备。采用离子束溅射技术,在熔融石英基底上制备了不同沉积工艺参数的Si薄膜,基于透、反射光谱和椭偏光谱的全光谱数值拟合法,计算了Si薄膜的光学常数,并研究了氧...
关键词：离子束溅射技术 SI薄膜 吸收率 光学常数 
射频输入功率对DLC∶F∶Si薄膜结构和附着特性的调制机理被引量：2
《材料科学与工程学报》2017年第3期363-367,384,共6页吴伟 朱志鹏 张剑东 闵嘉炜 江美福 钱侬 
国家自然基金资助项目(11275136)
以SiC陶瓷靶为靶材,Ar和CHF_3为源气体,采用反应磁控溅射法在双面抛光的316L不锈钢基片上制备出了系列Si和F共掺杂的DLC∶F∶Si薄膜。研究了射频输入功率对薄膜的附着力、硬度和表面接触角的影响。结果表明,选取适当的输入功率(180W左右...
关键词：DLC∶F∶Si薄膜 射频反应磁控溅射 附着力 共掺杂 
高分子辅助化学溶液沉积法制备La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3/Si薄膜及电磁输运研究被引量：1
《人工晶体学报》2017年第4期621-626,共6页刘其娅 张敏 宋婷婷 
四川省科技厅应用基础研究(2014JY0133);西华师范大学博士科研启动基金(412577)
利用高分子辅助化学溶液沉积法在Si(100)衬底上外延生长La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜。并利用X射线衍射仪结果、扫描电子显微镜结果和电阻率-温度曲线(ρ-T曲线)结果、磁电阻(MR)曲线结果对其晶体结构、表面形貌和电磁输运机制进行了研究...
关键词：La0.7Sr0.3Mn O3薄膜 高分子辅助化学溶液沉积法 电磁输运性质 
Co原子浓度对Co-Mn-Si薄膜各向异性磁电阻及半金属性的影响被引量：2
《中国科学：技术科学》2015年第4期389-395,共7页杨辅军 康泽威 姚军 李继辉 肖君 陈晓琴 
国家自然科学基金(批准号:11274101);日本学术振兴会海外研究员项目(编号:P09295)资助
向原子比为2:1:1的Co-Mn-Si合金薄膜中掺杂Co原子,试图发现Co-Mn-Si合金薄膜半金属性的变化规律.通过制备系列不同成分Co-Mn-Si合金薄膜,并测试薄膜的各向异性磁电阻比.结果发现制备的Co50Mn Si薄膜具有良好的B2结构,杂质及缺陷数量少(...
关键词：半金属 哈斯勒合金 各向异性磁电阻 
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