亚半微米

作品数：11被引量：14H指数：2
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亚半微米投影光刻物镜的研究设计被引量：3
《微细加工技术》2000年第1期26-30,共5页陈旭南 姚汉民 李展 林妩媚 余国彬 罗先刚 张津 
介绍了分步重复投影光刻机亚半微米光刻物镜光学和机械结构研究设计、设计结果 ,以及公差控制。指出技术指标已达到 :数值孔径NA =0 .6 3、工作波长λ =36 5nm、倍率 5x、工作分辨力R 0 .35 μm ,设计物镜所用透镜片数最少 ,无胶合件 ...
关键词：亚半微米光刻 投影物镜 设计 集成电路 
亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究被引量：2
《微细加工技术》1999年第2期71-78,共8页张津 姚汉民 陈旭南 唐小平 
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
关键词：投影物镜 温度补偿 光刻 大规模集成电路 
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