TMAH

作品数：58被引量：116H指数：6
导出分析报告
相关领域：电子电信化学工程更多>>
相关作者：侯晓娟何剑薛晨阳高翔丑修建更多>>
相关机构：沧州信联化工有限公司中北大学天津大学镇江润晶高纯化工科技股份有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金内蒙古自治区自然科学基金浙江省科技攻关计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=传感技术学报x
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微喷口阵列的TMAH“两步法”制备工艺被引量：2
《传感技术学报》2012年第2期184-187,共4页余协正 叶迎华 沈瑞琪 
航天科技创新基金项目(CASC201105)
为了高效经济地实现单晶硅喷口阵列的批量加工,通过大量实验,研究了TMAH溶液在不同浓度、温度、刻蚀时间以及添加剂过硫酸铵的添加量和添加方式等对单晶硅刻蚀结果的影响规律,得到了"两步法"的优化刻蚀工艺:第1步在低浓度、高温度下进...
关键词：MEMS 微喷口阵列 各向异性刻蚀 TMAH 过硫酸铵 粗糙度 
TMAH溶液中的(110)硅各向异性湿法腐蚀及其在不同添加剂下的腐蚀特性研究被引量：5
《传感技术学报》2011年第2期185-189,共5页陈骄 董培涛 邸荻 吴学忠 
国家自然科学基金(91023028)
研究了TMAH溶液中(110)硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了(110)硅在TMAH与不同添加剂(过硫酸铵、异丙醇等)构成的腐蚀系统下的腐蚀特性。利用场发射扫描电子显微镜(SEM)观测(110)硅的腐蚀坑腔结构,利用扫描探...
关键词：湿法各向异性腐蚀 (110)硅 TMAH 过硫酸铵 异丙醇 
TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究被引量：13
《传感技术学报》2006年第3期593-596,共4页张建辉 李伟东 万红 吴学忠 
国家自然科学基金资助(50375154)
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表明随TMAH溶液的浓...
关键词：MEMS TMAH 硅微结构 各向异性腐蚀 
采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析被引量：1
《传感技术学报》2002年第3期251-255,共5页沈桂芬 姚朋军 丁德宏 付世 吕品 杨春常 刘宏俊 王振波 
沈阳市科委基金项目
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
关键词：TMAH 粗糙度 腐蚀速率 各向异性. 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部