XY工作台

作品数：19被引量：45H指数：4
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相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
相关作者：杨洪涛杨鹏李莉蔡弋白立芬更多>>
相关机构：安徽理工大学约翰内斯﹒海德汉博士有限公司THK株式会社日立制作所更多>>
相关期刊：《组合机床与自动化加工技术》《光学精密工程》《中国机械工程》《仪器仪表学报》更多>>
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XY工作台六自由度误差在线测量和补偿被引量：4
《光学精密工程》2023年第12期1761-1773,共13页林荣炜 程真英 何亚雄 李洁 李瑞君 
国家自然科学基金资助项目(No.52175506);国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004900)。
为提高XY工作台对应功能点的空间位置精度,提出了一种六自由度(6-DOF)误差在线测量方法,并建立了相应的误差补偿模型。采用激光干涉原理测量工作台X,Y轴方向的定位误差和Z轴方向的直线度误差,采用激光自准直原理测量工作台绕X,Y,Z轴转...
关键词：XY工作台 多自由度 补偿模型 阿贝原则 
运动控制技术实验教学平台的开发被引量：2
《实验室研究与探索》2016年第8期79-81,120,共4页徐明旭 呼烨 邹青 张富 朱晓翠 
吉林省高等教育教学研究课题;吉林大学实验技术项目(409020720062)
运动控制是数控加工设备和电子控制设备的关键技术,为满足现有运动控制技术实验教学需求,以XY工作台为主要结构,采用PC机+运动控制卡的控制模式,利用Visual C++2010开发了运动控制技术实验教学平台。该实验平台可以完成"直流伺服电机位...
关键词：运控控制 XY工作台 数控 实验教学 
晶圆工作台运动精度数据采集及处理
《机电工程技术》2008年第3期20-21,29,共3页刘建奇 李克天 刘吉安 黄向修 翁纪钊 
国家自然科学基金(编号:50475044);广东省自然科学基金(编号:04300155);广州市科技项目(编号:2004Z3-D9021)
本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统。该系统通过在运行过程中适当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量。
关键词：XY工作台 光栅尺 数据采集卡 数据处理 送片精度 
基于ADAMS的机器人自动研磨设备仿真研究被引量：2
《组合机床与自动化加工技术》2005年第8期67-68,70,共3页于淼 刘平平 高岩 于云华 
国家自然科学基金资助项目(50175049)
文章通过引进XY工作台,扩大了研抛系统的加工范围。建立了6自由度机器人的运动变换矩阵,并应用SolidWorks和ADAMS软件,对自动研磨设备进行了运动学仿真研究。仿真结果表明,利用由6自由度机器人和XY工作台组成的自动研磨加工设备进行研...
关键词：机器人 XY工作台 研磨加工 
一种Windows环境下使用串口控制xy工作台的方法被引量：3
《仪器仪表学报》2002年第z2期850-852,共3页黄成伟 蔡弋 李庆祥 白立芬 
本文研究了一种微机控制xy向工作台的方法。该方法利用微机的一个串口,控制工作台xy两个方向的运动。硬件利用串口输出控制脉冲,软件控制通过使用Microsoft提供的API函数实现。整个系统非常简单,实现也很方便。
关键词：串 口 控制方法 XY工作台 
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