AZO

作品数：485被引量：794H指数：12
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ZnO基透明导电薄膜
《发光学报》2025年第4期597-614,共18页史钧达 杨汝琪 胡杜楠 刘如敏 余涛 吕建国 
浙江省“尖兵领雁+X”研发攻关计划(2024C01252(SD2))。
ZnO是一种典型的第三代半导体材料,宽禁宽度3.37 eV。本征ZnO是一种n型半导体,采用施主元素掺杂技术可以显著提升其n型导电特性。ZnO基透明导电薄膜具有原料来源丰富、制备方法多样、可室温生长等优势,可应用于光电、传感、光热等诸多...
关键词：氧化锌 透明导电薄膜 施主掺杂 AZO 光电特性 
退火温度对ITO/Cu/AZO透明导电薄膜结构及性能的影响
《微纳电子技术》2024年第11期155-162,共8页孙冰成 张健 张贤旺 于尉 
采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电...
关键词：磁控溅射 真空热处理 氧化铟锡(ITO)薄膜 Al掺杂ZnO(AZO)薄膜 交替溅射法 
掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的研究进展被引量：2
《功能材料》2023年第9期9059-9069,共11页孔德茹 安佳钰 刘靖 孙冬兰 
国家自然科学基金(21373150)。
新型掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜光学性能优异,成本低廉,有望取代技术成熟的掺锡氧化铟(ITO)薄膜。主要简述了AZO薄膜的结构及其光电性能,重点综述了薄膜的制备工艺以及应用领域,对极具开发潜力的AZO薄膜的产业化前景进行了展望。
关键词：AZO薄膜 特性 制备工艺 应用 产业化前景 
沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响被引量：1
《半导体光电》2022年第3期561-566,577,共7页莫敏静 刘哲 马紫腾 董志虎 刘雍 魏长伟 何春清 
国家重点研发计划项目(2019YFA0210003);国家自然科学基金项目(12075172,12074291,11875209)。
通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有...
关键词：AZO透明导电薄膜 射频磁控溅射 室温 气压 功率 沉积时间 
Al掺杂ZnO透明导电薄膜表面修饰及其光电性能的创新实验设计
《山东化工》2021年第21期9-11,共3页肖雪春 王毓德 王莉红 黄强 董成军 管洪涛 胡剑巧 钱伟 
云南大学2018年本科优秀教学团队项目(2018JXTD014)。
采用简单的溶胶-凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了Al掺杂的ZnO(AZO)透明导电薄膜,通过用40 W 365 nm波长的紫外灯(UVA)照射对所制备的AZO薄膜进行表面修饰,并用紫外分光光度计研究了其光电性能。结果表明,所制备的AZO薄膜为透明导电薄膜...
关键词：溶胶-凝胶法 AZO 透明导电薄膜 光电性能 创新实验教学 
AZO和ITO薄膜性能对比及其在太阳电池中的应用被引量：7
《化工新型材料》2021年第9期280-283,共4页范丽琴 
福建省中青年教师教育科研项目(JAT170806)。
采用磁控溅射在衬底上溅射掺铝氧化锌(AZO)和掺锡氧化铟(ITO)薄膜,比较AZO薄膜和ITO薄膜的光谱响应范围及其光学与电学综合性能。在厚度为200nm左右时,AZO薄膜的品质因子(0.61×10^(-3)Ω^(-1))比ITO(2.23×10^(-3)Ω^(-1))小一个数量级...
关键词：透明导电薄膜 光电性能 太阳电池 
埋栅TCO薄膜的制备及在太阳电池上的应用
《太阳能学报》2021年第7期125-131,共7页王文贤 蔡伦 陈涛 俞健 黄跃龙 沈辉 
国家自然基金青年科研基金(51702269);国家自然科学基金(61774173)。
提出新型金属埋栅结构来改良透明导电氧化物薄膜(TCO)的光电性能,并分别采用AZO和ITO这2种TCO材料制备和对比3类薄膜(单层TCO薄膜、TCO/金属薄膜/TCO以及TCO/金属栅线/TCO三明治结构的薄膜)的光学和电学性能。本文制备的新型叠层AZO/Mg...
关键词：透明导电氧化物 硫化镉太阳电池 半导体异质结器件 ITO/Ag栅线/ITO 掺铝氧化锌(AZO) 
激光辐照对Ag/AZO双层复合透明导电薄膜性能的影响
《电镀与涂饰》2020年第12期749-754,共6页赵磊 任乃飞 李保家 张耀 王伟正 
通过磁控溅射在掺铝氧化锌(AZO)透明导电玻璃表面沉积了10 nm厚的Ag层,得到Ag/AZO双层复合透明导电薄膜,然后利用532纳秒脉冲激光器对其进行辐照处理。考察了激光能量密度对薄膜形貌、结构及综合光电性能的影响。考察了激光辐照处理后Ag...
关键词：掺铝氧化锌 透明导电玻璃 银 复合薄膜 磁控溅射 激光辐照 能量密度 光电性能 
Ar气流量对磁控溅射AZO导电薄膜红外透光性能的影响被引量：1
《半导体光电》2019年第3期370-374,共5页魏齐 沈鸿烈 高凯 
国家自然科学基金项目(61774084);江苏省前瞻性联合研究项目(BY2016003-09);江苏省科技成果转化专项资金项目(BA2017032)
采用射频磁控溅射法在超白玻璃衬底上制备出了近红外波段高透光性的AZO透明导电薄膜,用XRD、SEM和发光光度计研究了不同Ar气流量对AZO薄膜的结晶、电学性能和红外透光性能的影响。发现在室温、不同Ar气流量条件下制备出的AZO薄膜在300~1...
关键词：磁控溅射 AZO透明导电薄膜 Ar气流量 红外透光 
AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的制备及其物性分析
《科技创新与应用》2019年第8期96-97,共2页杨波 
文章在溶胶燃烧法制备的AZO薄膜的基础上,将银层导入其中,制备出AZO/Ag/AZO三层结构透明导电薄膜。并对得到的透明导电薄膜进行分析研究。最终成功降低了溶胶燃烧法制备的薄膜的电阻率。
关键词：AZO/Ag/AZO 溶胶燃烧 AZO 真空蒸镀 
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