CVD设备

作品数：37被引量：34H指数：3
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CVD设备水冷循环系统的计算及设计被引量：1
《电子工业专用设备》2023年第6期88-94,共7页石磊 袁祖浩 巴赛 胡志坤 胡凡 刘柱 万胜强 
湖南省科技厅重大专项(2020GK1030)。
CVD设备水冷循环系统能防止材料在室壁上生长,使反应室得到充分及时地冷却,保证设备的安全运行。根据当前一种主流的CVD设备结构,对设备各冷却部件需要的冷却要求进行了分析计算,确定了各冷却支路需要的管径大小,提出了CVD设备水冷循环...
关键词：化学气相沉积 水冷循环系统 传热学 理论计算 结构设计 
LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：4
《电子工业专用设备》2006年第4期35-38,共4页宋玲 廖炼斌 张勇 罗卫国 
在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
关键词：LPCVD 串级控制 温度控制 
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