FBAR

作品数：104被引量：120H指数：5
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高阻带抑制FBAR滤波器
《压电与声光》2025年第1期24-27,共4页唐小龙 陈艳兵 金中 吴高米 张必壮 蒋平英 
采用一维Mason模型,研究了薄膜体声波谐振器(FBAR)压电层/电极膜厚比对有效机电耦合系数的影响。随着压电层膜厚占比的增加,谐振器有效机电耦合系数逐渐增大,通过膜厚优化和流片实现了高频FBAR谐振器的研制。在采用梯形电路结构的基础上...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器 高阻带抑制 Mason模型 高频 
ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究
《压电与声光》2025年第1期59-62,共4页田本朗 梁柳洪 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 
采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°...
关键词：电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率 
一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法
《压电与声光》2024年第5期655-659,共5页张智欣 陈长娥 韩茜茜 史向龙 魏家贵 苏波 范佰杰 林树超 
针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 ...
关键词：高性能薄膜体声波(FBAR) 双工器 小型化 高隔离 低插损 
杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析
《压电与声光》2024年第2期159-163,共5页罗恩雄 张必壮 吴坤 马晋毅 李思忍 
该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构 杂模抑制 有限元 
高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制
《压电与声光》2023年第6期795-799,共5页刘娅 陈凤 黄晶 黄龙 吕峻豪 孙明宝 马晋毅 
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤...
关键词：温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数(TCF) 
C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证被引量：1
《压电与声光》2023年第4期535-539,共5页蒋世义 蒋平英 马晋毅 陈彦光 徐阳 刘娅 徐溢 
介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 宽带 高抑制度 
基于电学拓扑结构拓展FBAR滤波器带宽研究
《压电与声光》2022年第5期691-695,共5页常亚慧 汪为民 
重庆市博士“直通车”科研项目(CSTB2022BSXM-JSX0004);中国科学院“西部之光”人才培养引进计划;中央高校基本科研业务费(2021CDJQY-041)。
该文研究了一种薄膜体声波谐振器(FBAR)采用并联电感和外匹配电路的拓扑结构实现宽带滤波的方法。使用Comsol软件对FBAR进行三维结构仿真,并提取最优电极形状(变迹五边形)对应曲线到ADS中联合外匹配电路进行频带拓展,外匹配电路中的电感...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 有限元仿真 MBVD模型 宽带 拓扑结构 
温补型体声波滤波器设计与制备
《压电与声光》2022年第2期242-245,共4页张智欣 陈晓阳 陈长娥 闫鑫 林树超 
基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的滤波器频率温度系数为(-30~-25)×10^(-6)/℃,其电学性能受环境温度影响较大,将降低滤波器在全温工作的性能,限制其应用环境,尤其是对滤波器通带插损与矩形系数要求高的应用场合。该文在常规FBAR滤波...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器 温补层 SiO_(2) 频率温度系数 
C波段WLP薄膜体声波滤波器的研制被引量：3
《压电与声光》2022年第2期260-263,共4页刘娅 孙科 马晋毅 谢征珍 蒋平英 杜雪松 
该文研制了一种晶圆级封装(WLP)的C波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,并使用HFSS对电磁封装模型进行优化,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的FBAR滤波器。采用空腔型结...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason模型 晶圆极封装(WLP) 覆膜 插入损耗 
薄膜体声波谐振器Mason模型参数的提取方法被引量：3
《压电与声光》2022年第2期215-219,共5页张必壮 唐小龙 蒋平英 李华莉 廖书丹 刘娅 刘繁 
为了正确分析和设计薄膜体声波谐振器(FBAR)器件,需要对谐振器Mason模型中的仿真参数(如机电耦合系数、介电常数及粘滞系数等)进行准确提取。通过简谐近似,在Mason模型中引入了厚度方向位移的横向分量,提高了参数提取的准确性。使用谐...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason模型 参数提取 开路和短路去嵌 
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