氧化锌薄膜

作品数：407被引量：1194H指数：17
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镁铝共掺杂氧化锌薄膜的制备与光电性能研究被引量：1
《广东石油化工学院学报》2021年第4期67-71,共5页陈冬 张漫虹 钟美桃 梁铨斌 陈星源 罗国平 胡素梅 
广东省青年创新人才项目(2017KQNCX136);广东石油化工学院科研基金项目(2017rc20);2019年广东省高等教育教学改革项目(409);广东石油化工学院教育教学改革研究项目(JY201817)。
采用磁控溅射在玻璃衬底上制备镁铝共掺杂氧化锌(MAZO)薄膜。通过XRD、AFM、紫外-可见-近红外分光光度计和四探针测试仪综合分析溅射功率对MAZO薄膜结构特性、表面形貌和光电性能的影响。XRD测试表明,所有MAZO薄膜具有六方纤锌矿晶体结...
关键词：氧化锌薄膜 共掺杂 磁控溅射 光电性质 
溅射功率对离轴倾角沉积氧化锌薄膜结晶和光学性质的影响
《长春理工大学学报（自然科学版）》2021年第2期1-6,共6页刘永 刘春阳 郭迪 于长明 
国家自然科学基金青年科学基金项目(51602028);吉林省产业创新专项资金项目(2019C043-6);吉林省科技发展计划项目(20180804009HJ)。
氧化锌作为宽禁带半导体在室温下具有高激子束缚能(60 meV)、化学性能稳定、良好的压电性能和光学性能等优点,在光发射器件等光电技术领域应用非常广泛。拟通过采用离轴倾角溅射的方法,探究溅射功率对氧化锌薄膜的结晶和光学性质的影响...
关键词：氧化锌薄膜 磁控溅射 溅射功率 离轴倾角沉积 
磁控溅射沉积镓掺杂氧化锌薄膜的微观结构性质研究(英文)被引量：1
《中南民族大学学报（自然科学版）》2021年第1期57-63,共7页顾锦华 朱雅 康淮 
湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418)。
采用磁控溅射工艺在玻璃衬底上沉积镓掺杂氧化物透明导电薄膜样品,通过X-射线衍射仪的测试表征及其定量分析研究了薄膜样品的结晶性质和微观结构性能.结果表明,所沉积的样品均为六角纤锌矿型的多晶结构并具有(002)择优取向生长特性,其...
关键词：磁控溅射 掺杂氧化锌 薄膜 微观结构 
高功率脉冲磁控溅射制备ZnO薄膜的研究进展被引量：5
《真空》2021年第1期72-77,共6页张玉琛 张海宝 陈强 
国家自然基金项目(Grant Nos 11775028,11875090);北京市自然基金项目(Grant Nos 1192008,KM201510015009);北京市协同创新(No.CGPT15208)。
氧化锌薄膜材料由于具有高电导率、良好的光学透过率、原料储存丰富、成本低廉的特点,被认为是最具有潜力的透明导电薄膜。特别是其宽禁带(3.37e V)和高达60meV的激子束缚能,使其在环境温度制备同质结发光器件、太阳能电池电子传输层具...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 氧化锌薄膜 放电特性 掺杂 
半透明Cu2O/ZnO异质结的制备及其光电性能研究
《光子学报》2020年第8期199-204,共6页李金珠 田爱玲 刘丙才 王红军 朱学亮 
陕西省教育厅项目(No.17JS048);陕西省科技厅项目(No.2019KW-016)。
为研究具有更好材料稳定性的半透明薄膜太阳能电池,本文采用直流磁控溅射技术沉积氧化亚铜(Cu2O)薄膜和氧化锌(ZnO)薄膜,制备了Cu2O/ZnO异质结.使用扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、薄膜测定系统和太阳能模拟器,研究在不同氩/氧气...
关键词：半透明太阳能电池 异质结 磁控溅射 氧化锌薄膜 氧化铜薄膜 
氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性被引量：2
《微纳电子技术》2019年第12期984-991,共8页陈熙 段力 翁昊天 付学成 杨志 张亚非 刘千慧 陈益钢 高明 张虎 
国家自然科学基金资助项目(61971284,61671299)
通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统(MEMS)工艺,成功研制了基于氧化锌(ZnO)压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR)。通过使用性能优异的靶材,所得到的器件谐振性能良好。在同一种工艺条件下得到多个硅片...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 氧化锌(ZnO) 谐振频率 射频磁控溅射 集成电路 
气体流量对磁控溅射ZnO薄膜沉积速率的影响
《读天下（综合）》2019年第22期0275-0275,共1页张媛菲 
采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率的影响。实验结果表明,当氩气流量为45sccm时,ZnO薄膜表面均匀且致密。
关键词：射频磁控溅射技术 氧化锌薄膜 氩气流量 透过性 
不同压强下制备镓-镁共掺杂氧化锌薄膜的性能研究被引量：1
《中南民族大学学报（自然科学版）》2019年第1期107-111,共5页钟志有 朱雅 
湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZP17002)
以镓-镁掺杂的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射源,采用磁控溅射技术在玻璃基片上沉积镓-镁共掺杂ZnO(ZnO:Ga-Mg)薄膜样品.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)的测试表征,研究了压强对ZnO:Ga-Mg样品结构性质和薄膜内应力的影响.结果表明...
关键词：磁控溅射 掺杂氧化锌 压强 内应力 
玉米蛋白质基底上射频磁控溅射法制备Zn O薄膜
《发光学报》2018年第10期1431-1438,共8页杨帆 王超 周路 初学峰 闫兴振 王欢 郭亮 高晓红 迟耀丹 杨小天 
国家自然科学基金(51672103);吉林省科技厅科研项目(20160204069GX;20170101111JC;20170520169JH);吉林省教育厅科研项目(JJKH20170243KJ;JJKH20170241KJ)资助~~
采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上成功地制备了ZnO薄膜,研究了不同靶基距、氩氧比和溅射功率条件对ZnO薄膜性质的影响。结果表明,较小的靶基距有助于ZnO薄膜的c轴择优取向生长。我们还发现,沉积于玉米蛋白质基底的ZnO薄膜存在不同程...
关键词：氧化锌薄膜 玉米蛋白膜 磁控溅射 X射线衍射 光致发光谱 
氢气氛退火对掺钛氧化锌薄膜光电性能的影响被引量：1
《广西大学学报（自然科学版）》2018年第5期1947-1953,共7页罗珑玲 孙慧 陈丹馨 宋美霖 徐守磊 邓文 
国家自然科学基金资助项目(11675043)
为研究有氧溅射和氢气氛退火对TZO薄膜的光电性能的影响,采用射频磁控溅射法,以掺钛(2 at%)氧化锌为靶材,在石英衬底上溅射掺钛氧化锌(TZO)薄膜。在溅射过程中,往溅射室通入不同流量(0,6,10,15 sccm)的氧气,再将制备的TZO薄膜在氢气氛...
关键词：掺钛氧化锌薄膜 磁控溅射 氢气退火 光电性能 
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