MEMS压控电容

作品数：5被引量：9H指数：2
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影响MEMS压控电容变化范围的因素分析
《电子器件》2008年第3期786-790,共5页曹天捷 丁芳 
采用静电场力作用下二维三阶段微梁的静力分析模型,分析了影响两侧下拉电极MEMS压控电容可控范围的因素,这些因素包括:驱动电极的位置、电容极板的初始间隙、电容极板长度、介质层的厚度、介质的介电常数等,通过分析可以了解各因素对MEM...
关键词：MEMS 压控电容 微梁静力分析 静电场力 介质 
一种MEMS压控电容设计及其相位噪声分析
《功能材料与器件学报》2008年第2期539-543,共5页王政 刘泽文 
给出了一种MEMS压控电容的设计和相位噪声分析结果。在电容器结构中引入衬底金属层以达到控制寄生电容的目的;使用HFSS进行了上极板开孔对电容的影响的仿真,得到了不影响电容值的最佳尺寸是5微米。在恒寄生电容的假设下分析了MEMS压控...
关键词：MEMS压控电容 可控寄生电容 刻蚀孔 相位噪声 
两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化被引量：3
《光学精密工程》2005年第2期135-143,共9页刘泽文 韦嘉 王昱 方杰 刘理天 李志坚 
国家973计划资助项目(No.G1999033105)
基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化。使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠度试解函数,得到了试解函数形状在不同驱动电压下的曲线。计算结果与有限元仿真所得结果一致。在此基础上...
关键词：压控电容 微机电系统 能量法 
用于射频领域的高调节范围MEMS压控电容被引量：6
《压电与声光》2003年第3期252-254,共3页梁雪冬 刘泽文 刘理天 李志坚 
国家"九七三"重点基金项目
在分析了传统平行极板MEMS压控电容的基础上,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容。与传统的平行极板电容不同的是,它由三对极板构成。其中一对是起电容作用的极板,另外两对是控制极板。交流信号通过电容极板传输,而直流控制电压施...
关键词：MEMS压控电容 崩塌效应 控制极板 悬臂梁 牺牲层 
高调节范围RFMEMS压控电容的设计与模拟被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期179-182,共4页梁雪冬 刘泽文 刘理天 李志坚 
对传统平行极板MEMS压控电容的局限性进行了理论分析，提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容，它的特点在于使用了三对极板，其中的一对是电容极板，另外两对是控制极板，电容极板用于传输交流信号，而直流控制电压施加在控制极板上...
关键词：MEMS压控电容 崩塌效应 牺牲层 聚酰亚胺 
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