成膜树脂

作品数：95被引量：138H指数：7
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水性防锈漆的研究进展被引量：1
《青岛科技大学学报（自然科学版）》2023年第6期15-25,共11页唐林生 唐敏 孙明媚 王政文 
国家自然科学基金项目(21878165)。
传统的有机溶剂型防锈漆因存在严重的环境及安全问题而逐渐被水性防锈漆所替代,但后者存在干燥慢、硬度低、耐水和防腐蚀性能差等缺点。为此,对国内外对水性防锈漆大量的研究进行了归纳分析,结果表明通过采用复合成膜树脂、含磷和氟的...
关键词：水性防锈漆 复合成膜树脂 新型防锈颜料 纳米材料 新型成膜树脂 
ArF光刻胶成膜树脂研究进展被引量：1
《化工新型材料》2023年第S02期126-130,共5页郑祥飞 徐亮 陈侃 刘敬成 张家龙 陈韦帆 
东吴科技领军人才计划项目(WC202252)
ArF曝光分为干式光刻和浸没式光刻,结合多重曝光技术,分辨率覆盖90~97nm,是芯片制造的主流工艺。ArF光刻胶要求透光率高(193nm波长处)、分辨率高、感度快、抗刻蚀性强、边缘粗糙度小及缺陷少,因此对成膜树脂提出了更高要求。目前报道的...
关键词：ArF光刻 光刻胶性能 成膜树脂 聚合物结构 研究进展 
光刻胶材料的研究进展被引量：2
《微纳电子技术》2023年第3期378-384,共7页刘巧云 祁秀秀 杨怡 朱翔宇 周勇 
国家教育部首批国家级职业教育教师教学创新团队建设项目。
简单介绍了光刻胶的组成部分,综述了近年来国内外光刻胶成膜树脂合成、开发的研究进展,并根据不同曝光波长所需的不同光刻胶(包括紫外(UV)光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光刻胶等)进行了介绍。重点介绍了各光源下分子量和分子量分散指数...
关键词：紫外(UV)光刻胶 深紫外光刻胶 极紫外光刻胶 成膜树脂 分辨率 
导读
《现代涂料与涂装》2023年第2期I0001-I0001,共1页
武德涛通过成膜树脂和填料的筛选,制备了一种换热器用防腐导热底面合一无溶剂涂料。涂料成膜树脂选用多官能团树脂和特种改性胺的组合,可满足涂层高温及耐酸性需要;通过电化学阻抗对比测试,选择了-种高效的缓蚀剂,使涂层可耐Cl^(-)长期...
关键词：电化学阻抗 无溶剂涂料 成膜树脂 缓蚀剂 总传热系数 导热系数 对比测试 耐酸性 
β-环糊精制备光刻胶成膜树脂及性能研究
《化学工程师》2022年第7期1-6,共6页杨舒雅 杨淑娟 梁福根 杨飞 张勇 
浙江省重点研发计划项目(2020C04015,2021C03160);浙江省基础公益研究计划项目(LGF18C160002,LY19C160010);浙江理工大学科研启动基金(11153132612101,11150131722121)。
光刻胶作为芯片的核心材料,对微电子技术的快速发展起着至关重要的作用,成膜树脂作为光刻胶的骨架组分,直接影响光刻胶的性能。本研究利用β-环糊精代替传统光刻胶中的化学成分,与二碳酸二叔丁酯合成制备环境友好型的t-BOC-β-环糊精成...
关键词：成膜树脂 Β-环糊精 二碳酸二叔丁酯 分子玻璃 
光刻胶及其成膜树脂的研究现状被引量：5
《广东化工》2020年第14期76-77,共2页王全勇 宋斌 麦裕良 
广东省科学院企业工作站建设专项项目。
光刻胶是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光刻胶及其成膜树脂的国内外研究状况。
关键词：光刻技术 光刻胶 成膜树脂 
化学增幅型光刻胶材料研究进展被引量：6
《影像科学与光化学》2020年第3期392-408,共17页郑祥飞 孙小侠 刘敬成 穆启道 刘仁 刘晓亚 
江苏省研究生研究与实践创新项目(KYCX217-1434)资助。
芯片集成度的提高促使光刻胶向高分辨率方向发展,光刻技术由紫外全谱曝光发展到单一短波长曝光,为满足光刻胶高感度、高分辨率的要求,化学增幅型光刻胶应运而生。“化学增幅”可以提高光刻胶的量子产率,增强光刻胶感度,在深紫外、极紫...
关键词：化学增幅 光刻胶 感度 成膜树脂 反应机理 
193 nm深紫外光刻胶用成膜树脂的研究进展被引量：3
《影像科学与光化学》2020年第3期409-415,共7页魏孜博 马文超 邱迎昕 
中石化总部项目(G3365-2019-Z1912)资助。
本文综述了用于193 nm深紫外光刻胶的主体成膜树脂的种类及常用合成单体的研究进展,包括聚(甲基)丙烯酸酯体系、环烯烃-马来酸酐共聚物(COMA)体系、乙烯醚-马来酸酐共聚物(VEMA)体系、降冰片烯加成聚合物体系、环化聚合物体系、有机-无...
关键词：光刻胶 成膜树脂 曝光 分辨率 抗蚀刻性能 
248 nm深紫外光刻胶用成膜树脂的研究进展被引量：2
《影像科学与光化学》2020年第3期430-435,共6页魏孜博 马文超 邱迎昕 
中石化总部项目(G3365-2019-Z1912)。
综述了用于248 nm化学增幅型深紫外光刻胶的不同种类和结构的成膜树脂,以及所使用单体的研发进展,包括聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、聚对羟基苯乙烯及其衍生物、N取代的马来酰亚胺衍生物,以及其他聚合物等,对不同结构成膜树脂的曝光条...
关键词：光刻胶 成膜树脂 化学增幅型 曝光 
导读
《现代涂料与涂装》2020年第1期I0001-I0001,共1页
董群锋等首先利用亚麻油酸、月桂酸与环氧树脂的酯化反应制备环氧酯,再通过自由基聚合接枝反应引入有机硅烷单体、苯乙烯和丙烯酸酯类单体化合物,合成了一种常温自交联干燥的水性环氧树脂。利用红外光谱仪、热重分析、凝胶色谱、Zeta电...
关键词：水性环氧树脂 水性涂料 丙烯酸酯类单体 自固化 自由基聚合 亚麻油酸 有机硅烷 成膜树脂 
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