王军生

作品数：5被引量：6H指数：2
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供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
发文主题：磁控溅射隔热膜孪生TIO_2薄膜防粘更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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PEM控制中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的研究
《真空》2012年第4期36-39,共4页王军生 童洪辉 韩大凯 王治安 
在中频孪生靶反应磁控溅射实验装置上,用PEM控制沉积TiO2薄膜,实验了靶基距、电流与沉积速率的关系。实验得出,靶基距为112 mm时沉积速率最大,沉积速率与电流基本成线性比例关系。在溅射电流30 A,靶基距112 mm,设置点2.5时,测量了基片...
关键词：PEM 磁控溅射 TIO2 沉积速率 设置点 晶体结构 折射率 
大面积PET基中频反应磁控溅射沉积TiN隔热薄膜实验研究被引量：2
《真空》2011年第6期40-45,共6页翟玉涛 戴彬 王军生 韩大凯 王治安 
本文讨论在柔性基材PET上沉积氮化钛(TiN)阳光控制膜——作为隔热薄膜。"隔热"是指对红外光区的有效阻隔。氮化钛(TiN)薄膜具有光谱选择透过性,因此可以作为阳光控制薄膜使用。实验采用中频孪生靶磁控溅射实验装置,在等离子体辐射监视系...
关键词：阳光控制 TiN隔热膜 等离子体辐射监视系统 反应溅射 
PEM控制中频反应磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究被引量：2
《真空》2011年第4期76-79,共4页王治安 王军生 童洪辉 
采用中频反应磁控溅射孪生靶在玻璃基体上沉积TiO2薄膜。沉积过程中采用多路送气和等离子体发射光谱监测控制系统，使整个反应溅射过程维持在“过渡区”，从而快速稳定获得均匀高质量的TiO2薄膜，沉积速度在50nm／min以上。随着SP值的...
关键词：TIO2 孪生靶 过渡区 PEM 
等离子体发射监控系统参与的中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的实验研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第6期690-694,共5页赵嘉学 王军生 
在一个孪生靶实验装置上进行了中频反应磁控溅射沉积TiO2薄膜的工艺实验。得到了一组真实的反应溅射TiO2薄膜的沉积速率和真空与反应气体流量之间关系的迟滞曲线(无等离子体发射监控系统Plasma Emission Monitoring,PEM)参与。介绍了PE...
关键词：等离子体发射监控系统 中频孪生靶反应溅射 迟滞曲线 设定值 
电源工作模式对中频磁控溅射沉积速率的影响被引量：1
《真空》2009年第1期37-41,共5页王军生 童洪辉 赵嘉学 戴彬 
国家自然科学基金(10675044)
在中频孪生靶磁控溅射实验装置上,研究了电源恒压、恒流、恒功率工作模式下沉积速率与气压、电参数之间的关系,得出不同工作模式下电压、电流、功率及频率、占空比对沉积速率的影响:恒流模式下沉积速率稳定性最好,恒压最差;气压变化时,...
关键词：磁控溅射 电源工作模式 沉积速率 
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