赵嘉学

作品数：5被引量：44H指数：3
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供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
发文主题：磁控溅射等离子体增强化学气相沉积TIN孪生磁阻力更多>>
发文领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《金属热处理》《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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等离子体发射监控系统参与的中频孪生反应磁控溅射沉积TiO_2薄膜的实验研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第6期690-694,共5页赵嘉学 王军生 
在一个孪生靶实验装置上进行了中频反应磁控溅射沉积TiO2薄膜的工艺实验。得到了一组真实的反应溅射TiO2薄膜的沉积速率和真空与反应气体流量之间关系的迟滞曲线(无等离子体发射监控系统Plasma Emission Monitoring,PEM)参与。介绍了PE...
关键词：等离子体发射监控系统 中频孪生靶反应溅射 迟滞曲线 设定值 
电源工作模式对中频磁控溅射沉积速率的影响被引量：1
《真空》2009年第1期37-41,共5页王军生 童洪辉 赵嘉学 戴彬 
国家自然科学基金(10675044)
在中频孪生靶磁控溅射实验装置上,研究了电源恒压、恒流、恒功率工作模式下沉积速率与气压、电参数之间的关系,得出不同工作模式下电压、电流、功率及频率、占空比对沉积速率的影响:恒流模式下沉积速率稳定性最好,恒压最差;气压变化时,...
关键词：磁控溅射 电源工作模式 沉积速率 
内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究被引量：4
《金属热处理》2008年第8期93-95,共3页金凡亚 王珂 赵嘉学 沈丽如 陈庆川 童洪辉 
介绍了一种新型等离子体增强化学气相沉积内表面复合处理系统。利用此系统沉积TiN涂层的结果表明,100mm×1000mm316不锈钢管内表面沉积涂层相对均匀,且具有较好的表面特性和机械特性。
关键词：等离子体增强化学气相沉积 管状样品 内表面 
常见磁控溅射靶材利用率及其计算方法的探讨被引量：13
《核聚变与等离子体物理》2007年第1期66-72,共7页赵嘉学 金凡亚 
探讨了矩形平面、圆形平面和圆柱管这三种常见磁控溅射源的靶材极限利用率的理论计算方法,推出了利用率的近似计算公式,分析了影响利用率的因素。跑道刻蚀形状(宽度和收缩系数)强烈影响平面类静态靶的极限利用率。旋转磁场圆柱管靶材的...
关键词：极限利用率 安全剩余厚度 收缩系数 
磁控溅射原理的深入探讨被引量：27
《真空》2004年第4期74-79,共6页赵嘉学 童洪辉 
从更深层次——电子在非均匀电磁场中的运动规律 ,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。对工件温升、临界磁场、脱缚电子的能量及原因。
关键词：磁力线走廊 磁阻力 横向磁约束 电子浓度分布 磁控溅射 镀膜 
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