冯贞健

作品数:6被引量:12H指数:2
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供职机构:北京工业大学更多>>
发文主题:场电子发射立方氮化硼薄膜立方氮化硼射频溅射纳米金刚石薄膜更多>>
发文领域:理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊:《固体电子学研究与进展》《北京工业大学学报》《人工晶体学报》《科学通报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国土资源部地质大调查项目更多>>
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射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜被引量:1
《科技通讯(上海)》2004年第1期14-18,共5页冯贞健 邢光建 陈光华 于春娜 荣延栋 
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关键词:立方氮化硼薄膜 射频溅射 制备 粘附性 两步法 
纳米金刚石涂层上化学气相沉积金刚石薄膜的场电子发射被引量:6
《科学通报》2003年第12期1282-1285,共4页蔡让岐 陈光华 宋雪梅 邢光建 冯贞健 贺德衍 
在爆炸法合成的纳米金刚石粉涂层上,用微波等离子体化学气相沉积法制备了含有大量纳米晶的金刚石薄膜。应用XRD,Raman和SEM对其结构进行了分析。应用平面薄膜二极式结构研究了它的场电子发射特性,结果表明:这种含有纳米金刚石的薄膜具...
关键词:纳米金刚石薄膜 微波化学气相沉积 场电子发射 量子尺寸效应 平面薄膜二极式结构 
立方氮化硼(c-BN)薄膜的光学带隙被引量:1
《北京工业大学学报》2003年第3期381-384,共4页冯贞健 于春娜 陈光华 
国家自然科学基金(69876003;19874007)
用两步射频溅射法在n型Si(111)片和熔融石英片上沉积出不同体积分数的立方氮化硼(c-BN)薄膜,薄膜的成分由傅里叶红外吸收谱标识;用紫外-可见分光光度计测量了沉积在石英片上的BN薄膜的透射光谱T_e(λ)和反射光谱R_e(λ),薄膜的厚度用台...
关键词:立方氮化硼薄膜 射频溅射 光学带隙 
cBN/SiN-p异质结的电学性质研究
《固体电子学研究与进展》2002年第4期483-486,共4页陈光华 邓金祥 宋雪梅 李茂登 于春娜 冯贞健 
用射频溅射系统成功制备出 c BN/ Si N-p异质结 ,并系统研究了其电学性质。掺硫 (S)的 n型 c-BN薄膜用 1 3 .5 6MHz射频溅射系统沉积在 P型 Si(1 0 0 ) (8~ 1 5 Ω·cm)衬底上 ,靶材为 h-BN靶 (纯度达 99.99% )。溅射气体为氩气和氮气...
关键词:立方氮化硼/硅N-p异质结 伏-安特性 电容-电压特性 
粉煤灰中植物营养元素赋存状态及应用被引量:4
《环境科学与技术》2002年第4期34-35,39,共3页李广慧 孙岱生 冯贞健 
国土资源部地质大调查项目内的<利用工业废弃物粉煤灰;水库淤积物作为肥料改造生态环境研究>课题的部分研究结果 项目编号 :Z1.7科研编号 :DK990 2 0 0 8。
土壤化学分析表明 ,粉煤灰中一般含有丰富的矿质营养元素。这些营养元素的赋存状态决定了粉煤灰的供养能力和供养特点。通过对粉煤灰的粉晶X 射线衍射分析、扫描电镜观察以及透射电镜分析、电子探针分析 ,揭示了粉煤灰中元素的赋存状态...
关键词:植物营养元素 粉煤灰 元素赋存状态 透射电镜分析 土壤化学 
MWECRCVD法高速沉积α-Si:H薄膜的红外光谱研究
《人工晶体学报》2002年第3期321-324,共4页宋雪梅 宋道颖 陈蔚忠 芦奇力 冯贞健 鲍旭红 邓金祥 陈光华 
国家 973资助项目 (G0 0 0 0 2 82 0 1 1)
应用微波电子回旋共振化学气相沉积 (MWECRCVD)方法 ,在较高速度下沉积了α Si:H薄膜 ,用FTIR红外谱仪研究了α Si:H薄膜的结构特性随H2 /SiH4 、沉积温度和沉积速率变化关系 ,并对 2 0 0 0cm-1附近的特征吸收峰用高斯函数进行了拟合分...
关键词:MWECR-CVD法 α-Si:H薄膜 IR分析 高斯函数拟合 
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