胡焕林

作品数：24被引量：61H指数：5
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供职机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院更多>>
发文主题：滑阀真空泵真空泵振动涡旋真空泵干式真空泵更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信机械工程理学更多>>
发文期刊：《流体机械》《合肥工业大学学报（自然科学版）》《真空科学与技术学报》《真空与低温》更多>>
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双级滑阀真空泵振动平衡的研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2013年第3期289-292,共4页于振华 姜康 李志远 胡焕林 
研究了双缸结构的双级滑阀真空的振动平衡,提出了定量平衡双级滑阀真空泵振动的方法;运用最小二乘法获得多级平衡配重的关键参数,精确平衡双级滑阀真空泵的不平衡惯性力。以2H-150滑阀真空泵为例进行振动平衡,平衡后的剩余惯性力减至15...
关键词：双级 平衡配重 振动 滑阀真空泵 
开拓发展大抽速双级滑阀真空泵被引量：3
《真空》2009年第6期28-31,共4页于振华 刘兴善 胡焕林 张明达 
长期以来,我国发展双级滑阀真空泵遇到不少困难和挑战,标准制定后相隔二十多年才有生产2H-150等产品。实际上由于大抽速的双级滑阀真空泵设计制造会遇到动平衡、控制双级供油、降低噪声等一系列的问题,所以其设计制造给厂方带来很大麻...
关键词：滑阀真空泵 抽速 双级 
偏心圆弧罗茨转子型线的研究被引量：1
《流体机械》2006年第4期41-43,共3页徐文兵 于振华 胡焕林 
介绍了一种新型转子型线———偏心圆弧转子型线。该转子型线由于计算困难等原因,在国内尚未得到应用。本文对该种型线进行了分析研究并予以完善。
关键词：罗茨鼓风机 偏心圆弧转子 面积利用系数 
偏心圆弧罗茨转子型线的研究被引量：8
《真空》2006年第1期6-8,共3页徐文兵 于振华 胡焕林 
罗茨真空泵的转子型线有很多种。本文主要介绍一种国内未见使用的新型转子型线——偏心圆弧转子型线。实际上,偏心圆弧转子型线在国外已有提出,只是由于计算困难等原因,这种型线没有在国内得到应用。本文对该种型线进行了设计研究并予...
关键词：罗茨真空泵 转子型线 偏心圆弧转子 面积利用系数 
CF_4/CHF_3反应刻蚀石英和BK7玻璃
《真空》2005年第4期49-51,共3页黄长杰 王旭迪 汪力 胡焕林 
用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK 7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比。在1 CF4∶1CHF3的等离子体中由于与光刻胶良好的刻蚀选择比,在石英基...
关键词：石英 BK7玻璃 反应刻蚀 刻蚀速率 图形转移 表面质量 
高反膜的镀制实践与探索
《光学仪器》2004年第5期44-47,共4页严晖 胡焕林 孙嵩泉 
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜。实验表明所镀膜层的光机性能优异,...
关键词：IC 光通信 激光器 精确控制 石英晶体 光学元件 光学薄膜 高性能 镀膜层 应用前景 
深高宽比微结构的干法刻蚀被引量：8
《真空》2004年第5期32-34,共3页王旭迪 张永胜 胡焕林 汪力 
介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。
关键词：微结构 深高宽比 干法刻蚀 
TPMC和DSMC方法在真空技术领域的应用被引量：3
《真空》2004年第4期102-105,共4页王艳 胡焕林 姚达毛 
随着计算机技术的发展 ,蒙特卡罗方法 (MC)成为研究稀薄气体流动问题的重要方法。本文着重介绍了试验粒子蒙特卡罗方法 (TPMC)和直接模拟蒙特卡罗方法 (DSMC)。通过一些实际的算例 (异形管路传输几率计算、涡轮分子泵模拟优化设计 )
关键词：TPMC DSMC 真空技术 试验粒子蒙特卡罗方法 直接模拟蒙特卡罗方法 蒙特卡罗法 
石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜被引量：2
《真空》2003年第5期16-18,共3页严晖 胡焕林 孙嵩泉 李万福 
讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较 ,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异 。
关键词：石英晶体监控法 光学薄膜 镀膜 光学性能 原理 振荡 相位 沉积 
离子束辅助沉积钼酸铅晶体表面红外增透膜被引量：2
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2003年第2期242-245,共4页周团团 胡焕林 孙嵩泉 
由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特...
关键词：离子束辅助沉积 钼酸铅晶体 红外增透膜 真空系统 光学性能 膜层稳定性 透射率 
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