付淑英

作品数：19被引量：21H指数：3
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供职机构：韩山师范学院物理与电子工程系更多>>
发文主题：氮化钛薄膜磁控溅射TIN氮化钛反射率更多>>
发文领域：一般工业技术文化科学自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《中国市场》《中国材料科技与设备》《太阳能学报》《热处理技术与装备》更多>>
所获基金：江西省新余市自然科学基金江西省教育厅科技计划项目江西省高等学校教学改革研究课题更多>>
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基底材料对沉积氮化钛薄膜及其性能的影响被引量：1
《中国材料科技与设备》2014年第1期10-12,共3页付淑英 
研究了利用直流反应磁控溅射法，以Si—P（111）和Si—P（100）两种不同Si片做基底，对制备TiNx薄膜性能的影响。结果表明，以Si--p（111）为基底制备的TiNx薄膜性能优于Si--p（100）基底，表现在颗粒更细润，XRD衍射峰峰形更明锐且与T...
关键词：基底材料 氮化钛薄膜 薄膜性能 沉积 直流反应磁控溅射法 薄膜质量 衍射峰 SI 
溅射气压对TiN薄膜的制备工艺及光学性能的影响
《中国材料科技与设备》2011年第6期40-42,共3页付淑英 
新余市自然科学基金资助项目（2008zrkxii03）
采用直流反应磁控溅射法，在Si（111）基底上制备氮化钛（TiNx）薄膜。研究了溅射沉积过程中腔体气压对TiNx薄膜结构及性能的影响。研究发现：在保持其它工艺参数不变的情况下，改变溅射气压，沉积的TiNx薄膜主要成分是立方相TiN，薄膜...
关键词：氮化钛薄膜 磁控溅射 溅射气压 反射率 
直流磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收TiN薄膜被引量：1
《太阳能学报》2010年第9期1146-1149,共4页付淑英 
韩山师范学院2009年教授启动项目;江西省新余市2008年自然科学基金项目(2008zrkxjj03);江西省教育厅2009年科技计划项目(GJJ09385)
以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ti为靶材,以氩气作为工作气体、氮气为反应气体,在Si(111)基底上制备太阳光谱选择性吸收薄膜TiN,使之具有较好的光谱选择吸收特性。研究发现:在其它工艺参数保持不变的情况下,溅射气压在0.35～1...
关键词：太阳光谱选择性吸收薄膜 磁控溅射 氮化钛(TiN) 吸收率 反射率 
磁控溅射TiN薄膜及其性能研究
《韩山师范学院学报》2010年第3期35-37,42,共4页付淑英 
韩山师范学院2009年教授启动项目;江西省新余市2008年自然科学基金项目(2008zrkxjj03)
以直流反应磁控溅射方法在Si(111)基底上制备薄膜TiN.研究发现:在保持其他工艺参数不变的条件下,溅射气压在0.3～1.3 Pa范围内,薄膜的主要成分是(111)择优取向的立方相TiN.当溅射气压为0.5 Pa时,沉积的薄膜膜层致密均匀,色泽金黄,膜厚为...
关键词：磁控溅射 氮化钛(TiN) 反射率 
溅射气压对磁控溅射TiN薄膜光学性能的影响被引量：1
《热处理技术与装备》2010年第3期27-30,38,共5页付淑英 
韩山师范学院2009年教授启动项目;江西省新余市2008年自然科学基金项目(2008zrkxjj03);江西省教育厅2009年科技计划项目(GJJ09385)
采用直流反应磁控溅射方法在Si(111)基底上沉积了氮化钛薄膜。研究了在溅射沉积过程中,改变腔体气压对所制备的薄膜结构及性能的影响。研究发现:在保持其它工艺参数不变的条件下,沉积的TiN薄膜在不同溅射气压下生成的物相不同,薄膜的主...
关键词：氮化钛薄膜 磁控溅射 溅射气压 光学性能 
太阳光谱选择性吸收薄膜研究综述被引量：6
《新余高专学报》2009年第3期92-94,共3页付淑英 柳碧清 李荣 
江西省新余市2008年自然科学基金项目(2008zrkxjj03);新余高等专科学校2007年科研项目(xj0747)。
近年来,中高温太阳光谱选择性吸收薄膜的研究及其在工业上的应用成为人们日益关注的焦点。太阳光谱选择性吸收薄膜是中高温太阳能集热器的核心部件,是太阳能光热转换中极为重要的关键材料,也是提高光热转换效率的重要手段,国内外关于各...
关键词：太阳能 光热转换 太阳光谱 选择性吸收薄膜 
《工程力学》实验教学改革的探索
《黑龙江科技信息》2009年第24期158-158,共1页陈萍 付淑英 朱双霞 谢富珍 
从培养学生的创新意识、创新精神和创新能力方面考虑,实验教学是培养学生创新能力的重要环节。分析了现行《工程力学》实验教学中存在的问题及原因,并结合教学实际,提出了实验教学改革的思路及措施。
关键词：基础性实验 创新性实验 开放式教学 个性化合作式教学 
直流反应磁控溅射法制备氮化钛薄膜被引量：1
《中国材料科技与设备》2009年第3期60-61,共2页付淑英 柳碧清 胡祥青 
江西省新余市2008年自然科学基金项目（2008zrbxjj03）;新余高专科研项目（xj0747）
研究了采用直流反应磁控溅射法制备TiN薄膜的工艺条件。研究发现：在保持其它工艺参数不变的条件下，溅射的TiN薄膜在不同温度区域存在的物相不同，薄膜的主要成分是多晶立方相TiN，240℃附近是薄膜择优取向由（111）向（200）转变的临...
关键词：氮化钛薄膜 磁控溅射 基底温度 反射率 
氮化钛太阳光谱选择性吸收薄膜研究进展被引量：4
《热处理技术与装备》2009年第1期1-3,7,共4页付淑英 钟炜 
新余高等专科学校2007年科研项目(xj0747)
当煤炭、石油等不可再生能源频频告急,能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈时,太阳能作为一种可再生的清洁新能源,已越来越引起人们的关注,太阳能光伏已是目前最热门的环保技术之一。综合利用太阳能的研究是当前和长远的社会发...
关键词：太阳能 太阳能光热转换 太阳光谱选择性吸收薄膜 氮化钛(TiNx) 
Profibus和Industrial Ethernet通信技术在高速线材轧制自动控制系统中的应用
《电气传动自动化》2008年第6期47-49,共3页裴建良 付淑英 
为适应高速连续式轧制要求,从自动化控制的可靠性、先进性、开放性、可扩展性、网络化出发,采用现场总线技术分布式控制和以太网相结合,构成功能完善的工厂自动化(FA)控制网络系统,实现工厂自动化生产和管理。
关键词：自动化控制 辊轧机 过程控制器AMS PLC 
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