刘颍

作品数:8被引量:27H指数:3
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供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文主题:真空紫外真空X射线AU离子束溅射更多>>
发文领域:一般工业技术机械工程理学更多>>
发文期刊:《光学学报》《计量学报》《光子学报》《真空科学与技术学报》更多>>
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光学表面粗糙状态分形研究被引量:2
《计量学报》2010年第5期430-435,共6页干蜀毅 周卿 徐向东 洪义麟 刘颍 付绍军 
将分形法引入光学表面粗糙度评价体系中,以克服常用表面粗糙度评价参数(如Rn、Rq、PSD)随取样点位置、取样长度而变化的弊端。用原子力显微镜(AFM)对样片表面进行测量,计算测量值的配分函数和多重分形谱。计算结果表明:不同样品...
关键词:计量学 表面粗糙度 分形 多重分形谱 自相似 
离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究
《光子学报》2009年第5期1207-1211,共5页干蜀毅 刘正坤 盛斌 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军 
根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜,研究了基片、表面厚度、离子束能量及镀后热处理对Ir膜反...
关键词:真空紫外反射膜 真空紫外反射率 Ir膜 离子束溅射 
国家同步辐射实验室反射率计误差分析被引量:1
《光学学报》2008年第11期2136-2142,共7页干蜀毅 刘正坤 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军 
中国科技大学国家同步辐射实验室"光谱辐射标准与计量实验站"上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性,在大量实验数据的基础上,结合必要的理论推导,对反射率计测试误差...
关键词:反射率计 同步辐射 反射率测量 误差分析 
几种高反膜设计新方法被引量:2
《真空科学与技术学报》2008年第6期547-552,共6页干蜀毅 刘正坤 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军 
现代科技的发展对增反膜提出的要求越来越高,具体表现在两个方面:一是要求在现有基础上进一步提高反射率,拓宽高反膜带宽,二是将高反膜的波长向短波方向延伸至真空紫外-x射线。本文总结了近年来出现的一些思路独特的增反膜设计新方...
关键词:反射膜 高反膜 膜系设计 真空紫外 X射线 
电子束蒸发沉积Ir膜真空紫外反射特性被引量:3
《光学学报》2008年第10期2036-2040,共5页干蜀毅 刘正坤 盛斌 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军 
Ir是一种重要的真空紫外反射材料,在太阳物理、宇宙物理、生命科学、大气物理、同步辐射等方面有着十分重要的应用。对电子束蒸发沉积Ir膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的理论和实验研究。根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模...
关键词:薄膜光学 反射膜 真空紫外反射率 电子束蒸发 铱(Ir)膜 
Si基片上Au膜真空紫外反射特性研究被引量:4
《真空科学与技术学报》2008年第1期51-54,共4页干蜀毅 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军 
对Si片上Au膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的研究。采用离子束溅射,选择不同的镀膜参数,在经不同前期清洗方法处理过的Si片上,镀制了各种厚度的Au膜。利用科大国家同步辐射实验室的反射率计,对Au膜在真空紫外较宽波长范围内的反...
关键词:真空紫外反射镜 真空紫外反射膜 真空紫外反射率 Au膜 Si基片 离子束溅射 
K9和石英玻璃基片上Au膜真空紫外反射特性研究被引量:10
《光学学报》2007年第8期1529-1535,共7页干蜀毅 徐向东 洪义麟 刘颍 付绍军 
采用离子束溅射法,分别在经过不同前期清洗方法处理过的K9及石英玻璃光学基片上,选择不同的镀膜参量,镀制了多种厚度的Au膜。对镀制的Au膜在真空紫外波段较宽波长范围内的反射率进行了连续测量。测试结果表明:辅助离子源的使用方式、Au...
关键词:薄膜光学 真空紫外反射镜 离子束溅射 真空紫外反射膜 Au膜 K9玻璃基片 石英玻璃基片 
真空紫外~X射线反射膜研究现状被引量:14
《真空科学与技术学报》2006年第6期459-468,共10页干蜀毅 徐向东 洪义麟 刘颍 付绍军 
真空紫外~X射线反射膜在分子、原子结构、宇宙物理、微纳米器件、生命科学等研究领域有着极其重要的应用。本文总结了迄今为止在A〈200nm内反射膜研究的进展情况,列出了常用单层金属反射膜最佳沉积条件、反射光谱以及各自的特点;对...
关键词:真空紫外 X射线 反射膜 反射镜 反射率 复合膜 
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