王莉

作品数：3被引量：2H指数：1
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SOI自对准硅化钛工艺研究被引量：1
《辽宁大学学报（自然科学版）》2005年第3期257-259,共3页石广源 王莉 宋哲 永福 张丽 王芳 
沈阳市科委科研项目(1032029-2-06)
阐述了SOI硅化钛的相关问题,采用两步快速热退火工艺形成低电阻的TiSi2,通过实验得出2次快速热退火的最佳时间和温度,形成良好的SOI自对准硅化钛工艺.
关键词：SOI 硅化钛 自对准工艺 
新型PN结终端技术的研究
《辽宁大学学报（自然科学版）》2005年第2期127-130,共4页石广源 永福 宋文斌 赵贵勇 王莉 宋哲 
沈阳市科委科研项目(1032029-2-06)
在场板工作机理的基础上阐述了一种新型的场板和保护环相结合的P-N结终端技术的工作原理.最后讨论了此终端结构的可行性.
关键词：场板 保护环 结终端技术 
SEU的二维数值模拟被引量：1
《微处理机》2005年第1期37-39,共3页宋哲 王莉 陆剑侠 许仲德 
本文阐述了单粒子效应原理和损伤机理,对MEDICI软件进行了简要介绍。运用MEDICI软件分别对体硅和SOI(Silicon-On-Insulator)衬底材料进行CMOS SRAM的SEU(Single -Event Upset)模拟实验,得出实验结果,并对实验结果进行分析,证明了SOI材...
关键词：SEU模 拟 SOI 抗辐射 
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