李元昌

作品数：5被引量：15H指数：3
导出分析报告
供职机构：清华大学更多>>
发文主题：光致抗蚀剂光刻水型成膜物质产酸更多>>
发文领域：理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《高等学校化学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-5
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种可以正负互用的水型化学增幅抗蚀剂的研究被引量：6
《高等学校化学学报》2000年第9期1485-1488,共4页陈明 李元昌 洪啸吟 焦晓明 程爱萍 
国家自然科学基金! (批准号 :59633110 ;597730 0 7)资助
研究了一种由甲酚醛树脂、六甲氧基甲基三聚氰胺 (HMMM)、六氟磷酸根二苯碘盐和光敏剂组成的水型紫外化学增幅抗蚀剂 ,发现二苯基碘盐不仅可以作为光敏产酸物 ,而且可以作为阻溶剂 .用碘盐作为光敏产酸物 ,光解产生的酸可以在中...
关键词：阻溶剂 光致抗蚀剂 化学增幅抗蚀剂 正负性反转 
高玻璃化温度化学增幅光致抗蚀剂的制备被引量：5
《感光科学与光化学》1998年第3期245-249,共5页王慧 游凤祥 陈明 李元昌 卢建平 洪啸吟 黄志齐 胡德甫 
国家自然科学基金
本文合成了一种具有高玻璃化温度的苯乙烯和Ｎ－（４－羟基苯基）马来酰亚胺的共聚体，并将其应用于紫外负性水型化学增幅抗蚀剂中，并初步确定了该光致抗蚀剂的光刻工艺操作条件，得到了分辨率为１．３９μｍ的光刻图形．
关键词：光致抗蚀剂 光刻 化学增幅 抗蚀剂 合成 
甲酚醛树脂—HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究被引量：3
《感光科学与光化学》1998年第2期154-160,共7页吴兵 李元昌 陈明 林天舒 洪啸吟 焦晓明 程爱萍 陈建军 
国家自然科学基金
本文利用二苯碘盐为光敏产酸物，吩噻嗪为敏化剂，配制了一种甲酚醛树脂———六甲氧基甲基三聚氰胺（ＨＭＭＭ）负性水型紫外化学增抗蚀剂，并研究了光敏产酸物和增感剂对体系光敏性的影响及体系中存在的拉平效应，通过优化后的光刻...
关键词：光刻胶 HMMM 集成电路 化学增幅抗蚀剂 增感剂 
时间分辨傅里叶变换红外光谱法研究聚偏氟乙烯的晶变
《光谱学与光谱分析》1997年第1期47-49,共3页胡鑫尧 李元昌 卢为琴 孙素琴 
国家自然科学基金
本文用时间分辨傅里叶变换红外光谱（ＴＲ－ＦＴＩＲＳ）法研究了聚偏氟乙烯（ＰＶＤＦ）的晶型转变，并以５０８ｃｍ－１峰的增强和５２８ｃｍ－１峰的减弱表示α晶型向β晶型的转变，瞬变的初期时间约５ｍｓ。在晶型转变中伴随有“磁...
关键词：聚偏氟乙烯 IR-FTIRS 晶变 
微秒级时间分辨傅里叶变换红外光谱激发系统研究被引量：1
《光谱学与光谱分析》1992年第4期35-38,共4页胡鑫尧 邳艳英 孙素琴 卢为琴 李寿春 李元昌 张极震 杨景文 魏成行 
国家自然科学基金
本文阐述了自行研制的、与FTIR仪器连接运行的时间分辨FTIR系统,包括光激发和电场激发两套系统。检验和测试了系统的工作参数和性能,获得了微秒-毫秒级时间分辨光谱图。
关键词：时间分辨 菌紫质 FTIR TRS 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部