云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 林黎蔚

林黎蔚: 作品数：10被引量：10H指数：2; 导出分析报告; 供职机构：四川大学更多>>; 发文主题：扩散阻挡层阻挡层铜互连超深SUB更多>>; 发文领域：一般工业技术金属学及工艺理学电气工程更多>>; 发文期刊：《金属学报》《原子能科学技术》《稀有金属材料与工程》《压电与声光》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国际热核聚变实验堆计划国家教育部博士点基金深圳市科技计划项目更多>>

核聚变堆用氚增殖剂材料及其制备技术的研究进展与发展趋势被引量：1: 《材料导报》2020年第15期15075-15082,共8页王昊李广忠葛渊刘波林黎蔚杨保军李亚宁荆鹏; 国家自然科学基金项目。; 核聚变能是清洁安全的理想能源,是最终可能解决人类能源问题的途径之一。氚是核聚变的关键原料,自然界中存在稀少,如何利用氘-氚聚变反应产生的中子与含有锂的氚增殖剂材料发生核反应制备氚并使之自持是目前聚变工程堆尚待验证的核心关...; 关键词：聚变堆材料氚自持固态氚增殖剂一体成型多孔结构

He离子辐照对石墨烯微观结构及电学性能的影响被引量：4: 《物理学报》2020年第1期311-316,共6页张娜刘波林黎蔚; 国家自然科学基金(批准号:11605116)资助的课题~~; 本文采用5.4 ke V不同剂量的He离子辐照单层石墨烯,利用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Raman)和半导体参数分析仪表征辐照前后石墨烯微观结构和电学性能变化.研究结果表明:随着辐照剂量增大,单层石墨烯的缺陷密度逐渐增加,当辐照剂量...; 关键词：石墨烯 He离子辐照微观结构电学性能

铜互连微结构中无籽晶RuMoC扩散阻挡层的稳定性（英文）被引量：4: 《稀有金属材料与工程》2019年第6期1809-1813,共5页邹建雄林黎蔚焦国华鲁远甫刘波徐可为; National Natural Science Foundation of China(11605116);Shenzhen Industry Development Fund Project(JCY20150925163313898,JCYJ20140417113130693);Shenzhen Engineering Laboratory Project(2012-1127); 采用磁控共溅射Ru和MoC靶,通过调节掺入MoC的含量获得非晶态RuM oC薄膜,研究了非晶RuM oC薄膜的热稳定性。HRTEM和XRD结果表明,在500℃下RuM oC薄膜依旧保持非晶结构;XPS分析结果表明,在该温度下,Ru-C键依旧保持完好,是RuM oC薄膜良好...; 关键词：热稳定性大马士革结构非晶RuMoC薄膜无籽晶阻挡层

α/γ相比率调控对超音速等离子喷涂Al_2O_3阻氚涂层微结构及性能的影响: 《原子能科学技术》2019年第3期465-470,共6页蒲国刘波林黎蔚; 国家自然科学基金资助项目(11605116); 采用超音速等离子喷涂技术在中国低活化马氏体钢表面制备不同α/γ相比率的Al_2O_3阻氚涂层,研究了α/γ相比率调控对Al_2O_3涂层微观结构、力学性能和耐电化学腐蚀性能的影响。利用掠入射X射线衍射(GIXRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征Al_...; 关键词：超音速等离子喷涂 Al2O3阻氚涂层微结构力学性能耐电化学腐蚀性能

用于同位素电池的储能复合电极的可行性研究: 《原子能科学技术》2018年第1期175-180,共6页李鑫王关全杨玉青魏洪源林黎蔚任丁; 国家自然科学基金青年科学基金资助项目(11005076;11605116);中国工程物理研究院科研外协项目资助; 借鉴太阳能电池Ti/Pd/Ag复合电极的设计方案,将其优化设计为Ti/Pd/Au复合电极并加载氚源,以此验证同位素源与换能器件整合的可行性。在N型单晶硅基体上制备电极,为研究氚在电极中的行为,用氘气模拟氚气对电极进行同位素加载,采用XRD、SE...; 关键词：同位素电池 Ti/Pd/Au复合电极储氚

MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究: 《金属学报》2017年第1期31-37,共7页邹建雄刘波林黎蔚任丁焦国华鲁远甫徐可为; 国家自然科学基金项目Nos.11075112和11605116;深圳市科技计划项目Nos.JCYJ20150925163313898和JCYJ-20140417113130693;深圳市工程实验室项目No.2012-1127~~; 采用磁控共溅射Ru和MoC靶制备非晶RuMoC薄膜。用四探针仪(FPPT)、X射线光电子能谱仪(XPS)、高分辨率透射电镜(HRTEM)和小角掠射X射线衍射仪(GIXRD)表征不同掺杂组分RuMoC薄膜和不同温度退火态Cu/RuMoC/p-SiOC∶H/Si多层膜系的方块电阻...; 关键词：非晶RuMoC 无籽晶阻挡层热稳定性铜互连

Cu/Cu(Ge,Zr)/SiO_2/Si多层膜界面可控反应及热稳定性研究: 《金属学报》2013年第10期1264-1268,共5页张彦坡任丁林黎蔚杨斌王珊玲刘波徐可为; 国家自然科学基金项目11075112和11005076;高等学校博士点专项基金项目20100181120112;科技部国际热核聚变实验堆计划专项项目2011GB110005资助~~; 利用多靶磁控溅射技术在SiO_2/Si基体上沉积Cu/Cu(Ge,Zr)多层薄膜,采用四探针仪(FPPT),X射线衍射仪(XRD),高分辨透射电镜(HRTEM),X射线光电子能谱(XPS)和原位纳米电子束探针能谱(EDS)表征多层薄膜退火前后电阻率、微观结构和界面成分的...; 关键词：Cu(Ge Zr)薄膜界面反应选择性自反应热稳定性

调幅W(Mo)/Cu纳米多层膜He^+离子辐照响应行为被引量：1: 《物理学报》2013年第15期357-362,共6页植超虎刘波任丁杨斌林黎蔚; 科技部国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项;偏滤器关键技术研究(批准号:2011GB110005);国家自然科学基金(批准号:11075112;11005076);教育部博士重点基金(批准号:20100181120112)资助的课题~~; 用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的W(Mo)/Cu纳米多层膜,所制膜系在60keV氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量:0,1×1017He+/cm2,5×1017He+/cm2.用X射线衍射仪(XRD)和高分辨透射电子显微镜(TEM)表征W(Mo)/Cu纳米多层膜辐照前后微观结...; 关键词：W(Mo)/Cu纳米多层膜 He+辐照 He团簇/泡相转变

N_2分压对ZrGeN阻挡层微结构及性能影响: 《中国科技论文》2013年第2期132-135,共4页张彦坡刘波任丁林黎蔚杨斌徐可为; 国家自然科学基金资助项目(11075112);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20100181120112); 采用射频磁控溅射技术在Si(111)基体和Cu之间沉积ZrGeN阻挡层,重点研究了Cu/ZrGeN/Si多层膜系中N_2分压对ZrGeN微结构及阻挡层性能的影响。采用四探针电阻仪、X射线光电子能谱、X射线衍射仪、俄歇电子能谱表征ZrGeN薄膜和Cu/ZrGeN/Si多...; 关键词：薄膜扩散阻挡层微结构热稳定性非晶态

TbFe_x薄膜的成分控制及其对磁结构的影响: 《压电与声光》2005年第5期551-553,共3页林黎蔚张万里张文旭蒋洪川彭斌; 国家自然科学基金资助项目(50271014); 利用直流磁控溅射工艺制备了T bF ex薄膜,通过改变溅射气压调节薄膜的成分,利用磁力显微镜研究了薄膜成分对畴结构的影响,最后从理论上讨论A r气压对磁致伸缩薄膜T bF ex成分的影响,并建立了理论模型。结果表明:A r气压在相当大的范围...; 关键词：磁致伸缩薄膜磁控溅射成分控制磁畴

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