任丁

作品数：13被引量：13H指数：2
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供职机构：四川大学更多>>
发文主题：多孔硅阻挡层SIC涂层SI氢更多>>
发文领域：电子电信核科学技术一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《原子能科学技术》《材料研究学报》《盐城工学院学报（自然科学版）》《电子元件与材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国际热核聚变实验堆计划教育部重点实验室开放基金更多>>
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电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列被引量：2
《电子元件与材料》2018年第11期26-30,共5页李鑫 罗洁 任丁 
国家自然科学基金青年科学基金(11005076,11305029)
采用TMAH (Tetramethyl Ammonium Hydroxide)腐蚀液在P(100)硅片上制备倒棱台,进而采用电化学湿法刻蚀法制备具有微柱结构的阵列器件。借鉴N型多孔硅的形成理论,提出了微柱的形成模型,分析了微柱的形成条件,并对其主要的几何结构参数之...
关键词：无机非金属材料 硅微尖阵列 倒棱台 微柱形成模型 HF阳极电化学腐蚀 TMAH各向异性湿法腐蚀 
用于同位素电池的储能复合电极的可行性研究
《原子能科学技术》2018年第1期175-180,共6页李鑫 王关全 杨玉青 魏洪源 林黎蔚 任丁 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(11005076;11605116);中国工程物理研究院科研外协项目资助
借鉴太阳能电池Ti/Pd/Ag复合电极的设计方案,将其优化设计为Ti/Pd/Au复合电极并加载氚源,以此验证同位素源与换能器件整合的可行性。在N型单晶硅基体上制备电极,为研究氚在电极中的行为,用氘气模拟氚气对电极进行同位素加载,采用XRD、SE...
关键词：同位素电池 Ti/Pd/Au复合电极 储氚 
MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究
《金属学报》2017年第1期31-37,共7页邹建雄 刘波 林黎蔚 任丁 焦国华 鲁远甫 徐可为 
国家自然科学基金项目Nos.11075112和11605116;深圳市科技计划项目Nos.JCYJ20150925163313898和JCYJ-20140417113130693;深圳市工程实验室项目No.2012-1127~~
采用磁控共溅射Ru和MoC靶制备非晶RuMoC薄膜。用四探针仪(FPPT)、X射线光电子能谱仪(XPS)、高分辨率透射电镜(HRTEM)和小角掠射X射线衍射仪(GIXRD)表征不同掺杂组分RuMoC薄膜和不同温度退火态Cu/RuMoC/p-SiOC∶H/Si多层膜系的方块电阻...
关键词：非晶RuMoC 无籽晶阻挡层 热稳定性 铜互连 
HCl浓度对多孔硅微结构及Si-H键合的影响被引量：1
《材料研究学报》2016年第9期717-720,共4页安红章 吴开均 肖婷 展长勇 任丁 
国家自然科学基金青年科学基金11005076;11305029;中国电子科技集团公司第三十研究所协作项目~~
采用电化学湿法刻蚀制备了P型多孔硅,通过改变HCl溶液浓度来调整刻蚀液中的氢离子浓度。制备出的多孔硅孔径相同,孔深随着氢离子浓度的提高呈线性增大直至恒定。基于电流突发模型阐述了结构参数的变化:孔径的形成开始于刻蚀的初始阶段,...
关键词：无机非金属材料 HCL 多孔硅 微结构 SI-H 电流突发模型 
热处理对富碳氢化非晶碳化硅薄膜阻氢性能的影响
《盐城工学院学报（自然科学版）》2016年第2期40-44,共5页姜辉 任丁 
针对热处理对a-Si C:H薄膜的氢扩散和热稳定性的影响,利用二次离子质谱(SIMS)和傅立叶红外谱(FTIR)来分析氢的深度分布和薄膜中Si Hn和CHn的变化。结果表明,在473 K到773 K范围内,经过热处理的a-Si C:H薄膜能够有效地延缓氢扩散,从而提...
关键词：热稳定 氢扩散 a-SiC H薄膜 氢 
Cu/Cu(Ge,Zr)/SiO_2/Si多层膜界面可控反应及热稳定性研究
《金属学报》2013年第10期1264-1268,共5页张彦坡 任丁 林黎蔚 杨斌 王珊玲 刘波 徐可为 
国家自然科学基金项目11075112和11005076;高等学校博士点专项基金项目20100181120112;科技部国际热核聚变实验堆计划专项项目2011GB110005资助~~
利用多靶磁控溅射技术在SiO_2/Si基体上沉积Cu/Cu(Ge,Zr)多层薄膜,采用四探针仪(FPPT),X射线衍射仪(XRD),高分辨透射电镜(HRTEM),X射线光电子能谱(XPS)和原位纳米电子束探针能谱(EDS)表征多层薄膜退火前后电阻率、微观结构和界面成分的...
关键词：Cu(Ge Zr)薄膜 界面反应 选择性自反应 热稳定性 
调幅W(Mo)/Cu纳米多层膜He^+离子辐照响应行为被引量：1
《物理学报》2013年第15期357-362,共6页植超虎 刘波 任丁 杨斌 林黎蔚 
科技部国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项;偏滤器关键技术研究(批准号:2011GB110005);国家自然科学基金(批准号:11075112;11005076);教育部博士重点基金(批准号:20100181120112)资助的课题~~
用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的W(Mo)/Cu纳米多层膜,所制膜系在60keV氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量:0,1×1017He+/cm2,5×1017He+/cm2.用X射线衍射仪(XRD)和高分辨透射电子显微镜(TEM)表征W(Mo)/Cu纳米多层膜辐照前后微观结...
关键词：W(Mo)/Cu纳米多层膜 He+辐照 He团簇/泡 相转变 
N_2分压对ZrGeN阻挡层微结构及性能影响
《中国科技论文》2013年第2期132-135,共4页张彦坡 刘波 任丁 林黎蔚 杨斌 徐可为 
国家自然科学基金资助项目(11075112);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20100181120112)
采用射频磁控溅射技术在Si(111)基体和Cu之间沉积ZrGeN阻挡层,重点研究了Cu/ZrGeN/Si多层膜系中N_2分压对ZrGeN微结构及阻挡层性能的影响。采用四探针电阻仪、X射线光电子能谱、X射线衍射仪、俄歇电子能谱表征ZrGeN薄膜和Cu/ZrGeN/Si多...
关键词：薄膜 扩散阻挡层 微结构 热稳定性 非晶态 
含IPA的TMAH溶液对湿法腐蚀硅倒金字塔阵列微观形貌演化的研究被引量：4
《材料研究学报》2011年第5期495-499,共5页肖婷 刘波 王新练 王春芬 任丁 
国家自然科学基金(11005076;11075112);辐射物理及技术教育部重点实验室开放基金(2011-7;2011-6);教育部博士点专项基金(新教师奖20100181120112)资助项目~~
采用含异丙醇(IPA)的TMAH溶液腐蚀经Si_3N_4掩膜形成10μm×10μm窗口的单晶硅片。在硅片表面得到了内壁光滑的倒金字塔V型口阵列.研究发现:与纯TMAH对硅的各向异性腐蚀特性相比,添加IPA使TMAH溶液对硅各个晶面的腐蚀速率减小,致使含IPA...
关键词：材料表面与界面 湿法腐蚀 TMAH溶液 倒金字塔结构 侧壁晶面夹角 
C-90%SiC涂层加热处理前后形貌特征及其阻氢性能的研究被引量：2
《真空》2009年第3期27-30,共4页曾俊辉 杜良 张东 杜纪富 杨淑勤 张瑞谦 任丁 黄宁康 
对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积C-90%SiC涂层进行不同温度的加热处理及H+注入。对加热处理前后H+注入涂层表面进行了SEM的观察,研究涂层表面加热处理前后鼓泡数量及分布的变化。通过AFM分析,研究涂层内沉积颗粒大小、形状以及分布...
关键词：C-90%SiC涂层 SEM AFM 阻氢性能 
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