程春玉

作品数：6被引量：8H指数：2
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发文主题：聚碳酸酯摩擦学性能磁控溅射射频磁控溅射种植体更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺医药卫生机械工程更多>>
发文期刊：《中国表面工程》《真空科学与技术学报》《真空》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金辽宁省自然科学基金沈阳市科技计划项目更多>>
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射频磁控溅射方法制备掺氮TiO_x薄膜及其结构和亲水性研究（英文）
《稀有金属材料与工程》2016年第9期2232-2236,共5页程春玉 蔺增 王妨 李慕勤 
A Grant from Shenyang City(F13-295-1-00);Fundamental Research Funds for the Central Universities(N130403002)
采用磁控溅射方法制备掺氮TiOx薄膜。将TiOx作为靶材,通以N2/Ar混合气体来精确控制N的掺杂量。为改善掺氮TiOx薄膜的性能,首先将试样放于退火炉中退火,退火温度范围为300～600℃;再将试样放于黑暗处一段时间;最后用可见光（VIS）照射。...
关键词：掺氮TiO2薄膜 磁控溅射 退火 亲水性 
聚碳酸酯表面碳基薄膜的制备及其光学性能研究
《真空科学与技术学报》2014年第9期890-895,共6页程春玉 蔺增 王凤 巴德纯 
辽宁省自然科学基金资助(201202058);中央高校基本科研业务费专项资金资助(N110403002);沈阳市科技基金资助(F13-295-1-00)
用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜基结合力及控制光路。本文利用激光拉曼光谱检测薄膜的微观结构,利用X射线光电子能谱分析试样中元素组成...
关键词：聚碳酸酯 含氢碳膜 射频等离子体增强化学气相沉积 摩擦学性能 光学性能 
种植体连接螺丝表面制备碳基薄膜的生物摩擦学研究被引量：3
《稀有金属材料与工程》2014年第S1期85-89,共5页张哲 蔺增 庞骏德 程春玉 
辽宁省自然科学基金(201202058);中央高校基本科研业务费专项资金(N130403004)
以CH4为碳源,氩气为辅助气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)的方法在种植体连接螺丝上制备了类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜。采用拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、摩擦磨损试...
关键词：RF-PECVD 碳基薄膜 种植体连接螺丝 生物摩擦学 
外载荷下带有界面裂纹的DLC薄膜应力响应研究
《真空科学与技术学报》2014年第5期473-476,共4页蔺增 张浩良 庞骏德 程春玉 王凤 
辽宁省自然科学基金资助项目(201202058);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N130403004);沈阳市科技计划项目资助项目(F13-295-1-100)
用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的带界面裂纹类金刚石碳(DLC)膜力学响应进行了模拟研究。分析了薄膜厚度、裂纹长度和裂纹宽度对内部应力的影响。数值模拟结果表明:薄膜厚度对表面和界面处的应力有显著的影响;Mises...
关键词：类金刚石碳膜 有限元分析 界面裂纹 力学响应 应力分析 
电子回旋共振波射频溅射系统设计被引量：2
《真空》2013年第6期27-31,共5页程春玉 蔺增 
电子回旋共振波(ECWR)技术于20世纪70年代提出,是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来产生等离子体的。ECWR技术有产生高密度等离子体、离子能量可控制在很窄的范围内、离子能量和离子流量可独...
关键词：电子回旋共振波 射频溅射 亥姆赫兹线圈 
聚碳酸酯表面射频磁控溅射类金刚石薄膜的摩擦学性能被引量：4
《中国表面工程》2013年第4期50-54,共5页程春玉 蔺增 王凤 巴德纯 
辽宁省自然科学基金(201202058);中央高校基本科研业务费专项资金(N110403002)
采用射频磁控溅射方法在聚碳酸酯片(PC)上沉积了类金刚石薄膜。利用激光拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜的形貌及结构进行分析;采用表面粗糙度仪和球—盘式摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行测试。结果表明:利用射频磁控溅射方法在...
关键词：聚碳酸酯 类金刚石薄膜 射频磁控溅射 摩擦学性能 
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