刘晓梅

作品数：4被引量：27H指数：2
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供职机构：山东大学计算机科学与技术学院更多>>
发文主题：SNO射频磁控溅射ZNOSNO2透明导电膜更多>>
发文领域：电子电信理学动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《太阳能学报》《功能材料》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
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GaN薄膜的研究进展被引量：12
《功能材料》2004年第5期537-540,544,共5页马洪磊 杨莺歌 刘晓梅 刘建强 马瑾 
　由于GaN薄膜有希望应用在紫外或蓝光发光器件、探测器以及高速场效应晶体管、高温电子器件,GaN材料是当前研究的一个焦点。本文简要介绍了GaN薄膜的制备、衬底选择、掺杂、缓冲层、发光机制和表征等方面的最新进展,指出GaN材料进一步...
关键词：GAN薄膜 研究进展 发光机制 
低温磁控溅射SnO_2:Sb透明导电膜的结构与导电性能被引量：2
《太阳能学报》2004年第2期148-151,共4页马瑾 刘晓梅 张士勇 郝晓涛 马洪磊 
教育部科学技术研究重点项目(重点02165);教育部博士点基金项目(20020422056)
采用射频磁控溅射法在7059玻璃衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)透明导电膜,对薄膜的结构和电学性质进行了研究。制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构,而且具有明显的(110)择优取向。最低电阻率为2×10-3Ω·cm...
关键词：磁控溅射 SnO2:Sb薄膜 结构和电学性质 
ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质被引量：13
《Journal of Semiconductors》2004年第1期56-59,共4页黄树来 马瑾 刘晓梅 马洪磊 孙征 张德恒 
国家自然科学基金 (批准号 :60 2 760 44 );教育部博士点基金 ( No.2 0 0 2 0 42 2 0 5 6)资助项目~~
在室温下 ,采用射频磁控溅射法在 70 5 9玻璃衬底上制备出 Zn O- Sn O2 透明导电薄膜 .制备的薄膜为非晶结构 ,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压 .薄膜的最小电阻率为 7.2 7× 10 - 3Ω· cm,载流子浓度为4 .3× 10 1 9c...
关键词：透明导电膜 ZnO—SnO2 射频磁控溅射 
射频磁控溅射有机衬底SnO_2∶Sb透明导电膜性能的研究
《功能材料》2003年第4期452-453,457,共3页张士勇 马瑾 刘晓梅 马洪磊 郝晓涛 
国家自然科学基金资助项目(60276044);教育部科学技术研究重点资助项目(重点02165)
　采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropyleneadipate,PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜。研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构、光学和电学特性的影响。制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二...
关键词：SnO2:Sb透明导电膜 射频磁控溅射 有机衬底 光电性质 
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