李昌敏

作品数：3被引量：11H指数：3
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发文主题：微结构DEM技术PMMA高深宽比反应离子刻蚀更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术医药卫生更多>>
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所获基金：上海市教育发展基金会“曙光计划”项目国家自然科学基金更多>>
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O_(2)反应离子深刻蚀PMMA被引量：5
《微细加工技术》2000年第3期39-43,共5页俞爱斌 丁桂甫 杨春生 郭晓芸 李昌敏 毛海平 倪智萍 
高深宽比结构是提高微器件性能的重要环节之一。利用RIE深刻技术加工具有高深宽比结构的图形 ,方法简单 :它不象LIGA技术那样 ,需昂贵的同步辐射光源和特制的掩模板 ,对光刻胶的要求也不是特别高 ,利用这种技术深刻蚀PMMA膜 ,以Ni作掩...
关键词：反应离子刻蚀 高深宽比 微结构 PMMA 
LIGA技术X光深层光刻工艺研究被引量：3
《微细加工技术》2000年第2期66-69,共4页陈迪 李昌敏 章吉良 伊福廷 周狄 郭晓芸 
上海市教委曙光计划资助项目!(97SG10 )
通过在北京高能所 3W 1束线上进行的X光深层光刻工艺研究 ,获得了侧壁光滑、陡直 ,厚度达 1 0 0 μm ,深宽比达 2 0的光刻胶和金属微结构 ,表明该光束线适用于LIGA技术的研究。
关键词：LIGA技术 X光深层光刻 VLSI 微机电系统 
DEM技术中微复制工艺研究被引量：3
《微细加工技术》2000年第1期61-65,共5页陈迪 雷蔚 李昌敏 张卫平 蔡炳初 
国家自然科学基金!(198750 6 0 );上海市教委曙光计划资助项目
利用DEM (Deepetching ,Electroforming ,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化 ,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构 ,并对PC。
关键词：DEM技术 微复制 微结构 
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