蒋翔六

作品数：4被引量：5H指数：2
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供职机构：北京市科学技术研究院更多>>
发文主题：金刚石薄膜H化学气相沉积多晶硅发射极晶体管多晶硅更多>>
发文领域：电子电信理学化学工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《兰州大学学报（自然科学版）》《电子学报》《物理学报》更多>>
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多晶硅发射极晶体管h_(FE)、G_e、和K的普遍表达式及其分类被引量：2
《电子学报》1993年第2期14-21,共8页蒋翔六 郭维廉 张咏梅 
本文综合考虑了影响多晶硅发射极晶体管(PET)电流增益的多种因素,针对最全面的器件结构推导出PET的共发射极直流电流增益h_FE发射极Gummel数G_e,和电流增益的增强因子k解析形式的普遍表达式,覆盖了PET的多种结构。并以此对PET从器件结...
关键词：多晶硅 发射极晶体管 双极晶体管 
直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量被引量：2
《物理学报》1990年第12期1965-1969,共5页张仿清 张亚非 杨映虎 李敬起 陈光华 蒋翔六 
应用直流弧光放电分解CH_4和H_2混合气体成功地实现了高速生长多晶金刚石膜,应用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、Raman谱仪对所得样品进行检测和分析,为了弄清楚金刚石膜的生长机理,在实际生长环境下“原位”测量了不同条件下直流弧光等...
关键词：CVD 金刚石 薄膜 等离子体 
用CH_4—H_2直流弧光放电CVD法高速合成金刚石薄膜被引量：1
《兰州大学学报（自然科学版）》1989年第3期163-164,共2页蒋翔六 张仿清 李敬超 杨斌 杨映虎 陈光华 
气相人工合成的金刚石薄膜具有与天然金刚石相同的超硬、高热导率、高电阻率及抗蚀性等独特的物理化学性质,具有重要的应用前景。近年来,用热等离子体的化学气相沉积(CVD)方法高生长速率的合成金刚石薄膜,如辉光、弧光转换区放电、弧光...
关键词：金刚石薄膜 直流弧光放电 CVD法 
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