彭坤

作品数：8被引量：23H指数：3
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供职机构：昆明理工大学机电工程学院更多>>
发文主题：陶瓷涂层等离子喷涂AL激光重熔BF更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺经济管理一般工业技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《南昌航空大学学报（社会科学版）》《电子工业专用设备》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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长等待时间下铜互连线形成球状缺陷的机理研究及解决方案被引量：1
《纳米技术与精密工程》2014年第1期51-55,共5页彭坤 呼翔 罗登贵 王飚 
随着集成电路向高密度小尺寸方向发展,铜互连已成为目前集成电路主要使用的互连技术,但球状缺陷的形成会影响产品的质量.本文研究了长等待时间下铜互连线中球状缺陷的形成机理,分析了其造成器件失效的原因,并提出了相应的解决方案.研究...
关键词：铜互连 等待时间 球状缺陷 器件失效 正交实验 
动态随机存储器栅极侧壁硅化钨残留的去除工艺
《纳米技术与精密工程》2009年第4期305-309,共5页彭坤 王飚 肖德元 仇圣棻 吴萍 
国家自然科学基金资助项目(50371033);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040674009);中芯国际集成电路制造有限公司及日本富士通微电子株式会社企业资助项目
动态随机存储器栅极侧壁硅化钨残留造成的短路成为制约提高产品良率及可靠性的瓶颈.为此,采用X射线荧光光谱(XRF)、扫描电镜(SEM)等检测分析手段优化硅/钨原子组成比为2.45.透射电镜(TEM)及电性参数测试结果表明,经30s、1000℃快速热处...
关键词：硅化钨 侧壁残留 漏电流 快速热处理 湿法清洗 动态随机存储器 
选择性BF_2^+离子注入对提高DRAM刷新时间的研究
《微细加工技术》2008年第5期1-4,15,共5页彭坤 王飚 林大成 吴萍 外山弘毅 
国家自然科学基金资助项目(50371033);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040674009);中芯国际集成电路制造有限公司;日本富士通微电子株式会社企业资助
动态随机存储器(dynamic randomaccess memory,DRAM)电容器在存储高电位数据"1"时,将影响邻近记忆单元区晶体管栅极电场分布,从而导致漏电流增加,降低了刷新时间。研究提出针对位元线接触区、有选择性的浅掺杂漏极离子注入BF2+方案来改...
关键词：离子注入 动态随机存储器 刷新时间 漏电流 
BF_2^+离子注入时磷杂质离子污染控制的研究
《微细加工技术》2008年第1期6-10,共5页彭坤 林大成 
全球第三大集成电路芯片制造商"中芯国际集成电路制造有限公司"企业赞助
同一台离子注入机B,P离子交叉注入,残留的磷和BF3分解产生的F生成50PF+,成为难控隐患。研究指出,实际注入晶圆的平均质量数,呈以目标离子质量数为中心的正态分布;49BF2+与50PF+因质量数接近而存在可能的重叠分布区,这是出现磷污染的原因...
关键词：离子注入 磷杂质污染 有效控制 
芯片制造中因缺陷扫描由激光导致的损伤研究(英文)
《电子工业专用设备》2007年第8期55-60,共6页彭坤 游智星 
在集成电路芯片制造中,激光被广泛应用于缺陷扫描或者相关的光学量测工具中。未见报道低功率的缺陷扫描时,输出功率仅数百毫瓦且扫描速度很快时,会对熔点达1420℃上的硅芯片造成影响,在制造中以Compass为代表的缺陷扫描工具被广泛而无...
关键词：激光 损伤 缺陷扫描 集成电路芯片制造 
基于VaR(风险价值)的金融投资的研究被引量：6
《昆明理工大学学报（理工版）》2002年第6期138-142,共5页彭坤 王飚 
近年发展来的VaR风险管理技术是一种用来评估和计量金融市场风险的统计学模型及方法 .本文省去了复杂繁琐的数学公式的演绎 ,从理论上简要地阐明了VaR风险管理技术的原理 ,并介绍了VaR风险管理技术之所以被国际金融界广泛认可的优点 ,...
关键词：VAR 风险价值 金融投资 风险管理 
基于不完全信息动态博弈理论的战略联盟被引量：7
《南昌航空大学学报（社会科学版）》2002年第2期45-48,51,共5页彭坤 周贤良 
本文介绍了符合现实世界的不完全信息动态博弈论的一些理论知识 ,并依据不完全信息动态“蜈蚣博弈”分析说明了实施战略联盟在理论上的可行性。以一些知名企业的成败为例 ,有必要制定有效的约束条例以保证战略联盟的维系与发展。
关键词：不完全信息 动态博弈 战略联盟 
等离子喷涂陶瓷复材的性能和应用及其发展被引量：9
《昆明理工大学学报（理工版）》2001年第1期41-45,共5页彭坤 王飚 诸小丽 
综述了等离子喷涂陶瓷涂层在克服金属零件失效方面所发挥的重要作用 .把发生在材料表面的磨损按实际情况区分为典型的六大类 ,工件实施等离子喷涂陶瓷涂层后 ,具体的实验、生产中得来的数据表明等离子喷涂陶瓷涂层后材料表面抗磨损能力...
关键词：等离子喷涂 陶瓷复合材料 性能 应用 陶瓷涂层 耐磨性 抗腐蚀性 耐高温性 
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