朱赤

作品数：3被引量：4H指数：1
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光刻胶流淌实现深亚微米栅工艺被引量：3
《固体电子学研究与进展》2018年第4期305-309,共5页朱赤 王溯源 章军云 林罡 黄念宁 
基于0.15μm分辨率扫描式光刻机实现0.1μm栅光刻的光刻胶流淌工艺。通过合理选择光刻胶烘烤温度、烘烤时间和圆片表面处理工艺,实现线宽均匀性好、工艺窗口满足要求的0.1μm线条。实验结果表明,圆片表面状态对光刻胶流淌工艺有重要影...
关键词：分辨率 光刻胶流淌 特征尺寸 线宽收缩 表面状态 
K波段收发集成多功能芯片被引量：1
《固体电子学研究与进展》2010年第4期F0003-F0003,共1页彭龙新 朱赤 陈金远 李建平 高建峰 黄念宁 吴礼群 
关键词：多功能芯片 K波段 收发 集成 SPDT开关 功率放大器 低噪声放大器 发射信号 
具有136GHz的0.18m GaAs Metamorphic HEMT器件
《固体电子学研究与进展》2009年第2期167-169,共3页康耀辉 张政 朱赤 高剑锋 
应用电子束直写技术成功制作了栅长0.18μm的高性能In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As MHEMT。从工艺角度,结合器件的小信号等效电路的理论分析,优化了器件结构,特别是T形栅结构,从而减小了器件寄生参数,达到了较好的器件性能。最终制作的I...
关键词：渐变组分高迁移率晶体管 T形栅 截止频率 
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