于高洋

作品数：4被引量：7H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：选择性二氧化铈化学机械抛光浅沟道隔离抛光液更多>>
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一种载片刚性转架的动平衡校准探析
《电子工业专用设备》2022年第2期66-70,共5页于高洋 陶利权 杨晓静 
旋转冲洗甩干机是半导体湿法清洗工艺中的主流设备之一,其关键技术之一,是如何克服该设备中载片刚性转架在高速旋转时产生的振动,从而引发盒装晶圆片在冲洗、干燥工艺流程中易出现碎片、干燥不彻底等现象,为此,对载片刚性转架结构的构...
关键词：旋转冲洗甩干 刚性 转架 动平衡 
应对“后摩尔定律”的封装设备被引量：2
《电子工业专用设备》2010年第12期1-8,43,共9页李燕玲 于高洋 童志义 
介绍了在传统的摩尔定律发展速度受阻的形势下以及在封装技术的驱动下,特别是先进的TSV互连和3D堆叠三维封装技术创新的应用,"后摩尔定律"对半导体技术产业的发展产生了强大推动力。为了适应中段制程的来临,应对新兴封装技术的挑战,满...
关键词：后摩尔定律 封装技术 中段制程 3维硅通孔技术 封装设备 技术创新 
我国LED产业发展路径被引量：2
《电子工业专用设备》2010年第12期9-12,50,共5页于高洋 
分析了我国LED产业在整条产业链中各个环节的技术及市场状况,提出了我国LED企业应该寻求一条切实可行的发展路径,以掌握LED制造的核心技术及专利,突破国外行业巨头构筑的技术壁垒,从而由产业链的下游向中上游扩张,最终摘掉"世界工厂"的...
关键词：LED 发展路径 产业链 技术壁垒 专利 
选择性抛光液的研究被引量：3
《电子工业专用设备》2009年第6期36-39,共4页刘涛 于高洋 周国安 
抛光液是化学机械平坦化的关键耗材,而针对STI和铜线的抛光,通常使用选择性抛光液。采用二氧化铈作为研磨颗粒的第二代抛光液,具有自动停止的特点,配合粗抛和精抛,能够十分有效解决目前STI存在的工艺缺点。而针对铜线的抛光,介绍了有机...
关键词：化学机械抛光 浅沟道隔离 抛光液 二氧化铈 有机物 
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