赵静

作品数:2被引量:1H指数:1
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0.1-0.3μm X射线光刻技术在GaAs器件制作中的应用
《功能材料与器件学报》2000年第3期182-185,共4页叶甜春 谢常青 李兵 陈大鹏 陈朝晖 赵玲莉 胥兴才 刘训春 张绵 赵静 
对同步辐射X射线光刻及在GaAsPHEMT器件制作中的应用进行了研究,并制作出栅长0.15μm的AlGaAs/InGaAs/GaAsPHEMT晶体管。研究结果表明,X射线光刻在剥离图形及T型栅结构制作工艺中具有极好的光刻图形质量,在混合光刻工艺中,抑止GaAs合...
关键词:X射线光刻 PHEMT T型栅 GaAs器件制作 
毫微秒脉冲相关器应用的GaAs单片超高速模拟开关IC被引量:1
《功能材料与器件学报》2000年第3期208-211,共4页王云生 张绵 赵静 白锡巍 
介绍一种GaAs单片超高速模拟开关IC的设计和制备。电路设计采用了独特的开关管导通时栅-源电压跟随和开关管关断时栅-源电压箝位的电路,使开关获得良好的线性和3ns的开启和关断超高速特性,满足了毫微秒脉冲相关信号的处理要求。
关键词:砷化镓 模拟开关 集成电路 相关器 飞行器 
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