王文彦

作品数：3被引量：3H指数：2
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：玻璃衬底GAN薄膜氮化镓GAN金属有机物化学气相沉积更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料》《Journal of Semiconductors》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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衬底氮化时间对玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜结晶性的影响
《功能材料》2009年第11期1836-1839,共4页陈伟绩 秦福文 吴爱民 王文彦 
国家自然科学基金资助项目(60476008)
采用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)方法,在康宁7101型普通玻璃衬底上低温沉积氮化镓(GaN)薄膜。利用反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和霍尔测量系统检测样品,研究了衬底...
关键词：GAN 氮化 ECR-PEMOCVD 玻璃衬底 
氮气流量对玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜结晶性的影响被引量：2
《Journal of Semiconductors》2008年第12期2376-2380,共5页王文彦 秦福文 吴爱民 宋世巍 刘瑞贤 姜辛 徐茵 顾彪 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60476008)~~
采用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在康宁7101型普通玻璃衬底上沉积了高度c轴择优取向的多晶GaN薄膜.利用反射高能电子衍射(RHEED),X射线衍射(XRD)对样品进行检测,研究了在低温(430℃)沉积中氮气...
关键词：ECR—PEMOCVD GAN薄膜 结晶性 半导体材料 低温沉积 玻璃衬底 
玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜研究被引量：2
《半导体技术》2008年第10期880-884,共5页王文彦 秦福文 吴爱民 宋世巍 李瑞 姜辛 徐茵 顾彪 
国家自然科学基金资助项目(60476008)
采用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积（ECR-PEMOCVD）方法在康宁7101型普通玻璃衬底上沉积了GaN薄膜,利用反射高能电子衍射（RHEED）、X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和霍尔测量系统对样品进行了检测,研究了...
关键词：电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积 氮化镓 低温沉积 玻璃衬底 
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