韩敬东

作品数：6被引量：17H指数：2
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供职机构：中国科学院更多>>
发文主题：X射线光刻LPCVD氮化硅掩模氮化硅膜更多>>
发文领域：电子电信核科学技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《半导体技术》《核技术》《生命科学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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衰老过程中的表观遗传调控
《生命科学》2017年第10期1052-1065,共14页豆晓阳 玄鸿文 穆永林 韩敬东 
国家自然科学基金项目(31210103916,91329302,91519330);国家重点基础研究发展计划(“973”项目)(2015CB964803,2016YFE0108700)
生物体衰老表现为性成熟后生理功能的逐渐衰退,最终引发疾病和死亡。表观遗传调控的紊乱作为衰老的一个重要特征,暗示可以通过干预表观遗传调控来延缓衰老并治疗衰老相关疾病。现就衰老过程中的表观遗传调控的最新进展作一综述。
关键词：衰老 DNA甲基化 组蛋白修饰 染色质重塑 非编码RNA 
LPCVD制备纳米硅镶嵌结构氮化硅膜及其内应力被引量：14
《Journal of Semiconductors》2001年第12期1529-1533,共5页陈大鹏 叶甜春 谢常青 李兵 赵玲莉 韩敬东 胥兴才 
国家九五重点科技攻关资助项目~~
报道了在采用 L PCVD法制备的富硅 Si Nx 膜中发现的部分晶化的硅镶嵌微结构 .视生长条件和工艺不同 ,该结构的尺度范围从数十到几百纳米不等 .利用不同条件下生长的 Si Nx 膜的应力测试结果和透射电镜观测结果 ,分析了富硅型 Si Nx 膜...
关键词：硅镶嵌微结构 LPCVD 氮化硅 薄膜 
同步辐射x射线光刻实验研究被引量：1
《半导体技术》1997年第6期45-46,共2页谢常青 陈梦真 赵玲莉 孙宝银 韩敬东 朱樟震 张菊芳 
攀登计划PD930307资助项目
采用侧墙工艺技术研制深亚微米ｘ射线掩模，并在北京同步辐射装置光刻束线上进行了同步辐射ｘ射线曝光实验。
关键词：同步辐射 X射线光刻 X射线掩模 侧墙工艺 
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