刘锦华

作品数：10被引量：8H指数：2
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供职机构：中国工程物理研究院核物理与化学研究所更多>>
发文主题：锆TISC微观结构衬底材料更多>>
发文领域：一般工业技术理学金属学及工艺核科学技术更多>>
发文期刊：《材料研究学报》《核电子学与探测技术》《真空科学与技术学报》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
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衬底材料对Ti膜形貌及结构的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2016年第3期623-628,共6页付文博 刘锦华 梁建华 杨本福 周晓松 程贵钧 王维笃 
中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2011B0103015)
使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大。抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜...
关键词：衬底 储氢薄膜 电子束热蒸发 形核 薄膜生长 
BIXS技术测量氚化钛膜氚活度实验方法研究
《核电子学与探测技术》2015年第4期325-330,共6页孙洪伟 毛莉 张伟光 牟方明 曾飞渊 姚冰 汪清华 陈尔攀 刘锦华 张晓红 
完成了BIXS能谱测量系统的组建及调试,对BIXS技术测量氚化钛膜氚活度的实验方法进行了研究。实验获得了空气和Ar气介质中的X射线能谱,与空气介质相比,除有两个相同峰位能量为4.5 keV和5.0 keV的谱峰和峰强度(或峰面积)分别减弱至约为0.4...
关键词：BIXS 氚化钛膜 氚活度 X射线能谱 
脉冲频率对锆薄膜表面形貌和结构的影响被引量：1
《材料研究学报》2015年第6期475-480,共6页刘伟 张晓红 刘锦华 梁建华 龙兴贵 
用脉冲激光气相沉积法在金属钼基底上制备锆薄膜,并用SEM,AFM,XRD等手段分析薄膜表面形貌和晶体结构,研究了脉冲激光频率对薄膜表面形貌和晶体结构的影响。结果表明:随着激光脉冲频率的提高锆薄膜表面液滴数目增加,液滴尺寸增大,薄膜的...
关键词：金属材料 锆薄膜 脉冲激光气相沉积 液滴 脉冲频率 
镀膜技术对金属薄膜性能与制备氢化物薄膜的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2013年第11期1114-1118,共5页万竟平 刘锦华 梁建华 
分析了热蒸发、溅射和脉冲激光沉积三种镀膜技术镀金属薄膜的性能特点。根据文献报道数据,研究了三种镀膜技术镀金属薄膜的成膜机理、晶格参数、膜力学性能的差别。脉冲激光沉积镀膜易按层与层叠加方式成膜,薄膜应力小,缺陷少,晶格尺寸...
关键词：热蒸发沉积 溅射沉积 脉冲激光沉积 金属薄膜 氢化物薄膜 
衬底温度对Sc、ScD_2膜的微观结构的影响(英文)被引量：1
《稀有金属材料与工程》2013年第7期1342-1346,共5页吴清英 邴文增 龙兴贵 周晓松 刘锦华 罗顺忠 
Science Foundation of China Academy of Engineering Physics (2010A0301011);National Natural Science Foundation of China (50871106)
采用电子束沉积的方法在底衬Mo（R4≈5-8．63nm）上制备了厚度为2～3gm的Sc膜，再将Sc膜在Sievert真空系统中进行吸氘。结果表明：在底衬温度为623，823，1023K时，Sc膜呈现出柱状结构，且具有（002）的择优生长；随着沉积温度从623K增...
关键词：Sc膜 氘化物 底衬温度 微观结构 电子束沉积 
沉积速率对EBD制备Si基Sc薄膜结构及形貌的影响
《稀有金属材料与工程》2012年第S2期236-238,共3页吴清英 罗顺忠 邴文增 刘锦华 
运用电子束蒸发(EBD)镀在Si(111)底衬上沉积了金属Sc膜。在底衬温度为650℃时,研究沉积速率对Sc膜形貌与结构的影响。SEM及XRD分析结果表明:此方法制备的膜表面平整、致密;基底温度对Sc膜结构和表面形貌影响很大,在0.5～10nm/s范围内膜...
关键词：电子束蒸发 SC 沉积速率 表面形貌 结构 
电子束加热与电阻加热蒸发锆膜的结构分析被引量：2
《原子能科学技术》2012年第8期992-995,共4页梁建华 彭述明 张晓红 刘锦华 周晓松 龙兴贵 
国家自然科学基金资助项目(50871106);中国工程物理研究院重大科学技术基金资助项目(2009A0301015)
采用XRD与SEM分析了在钼衬底上电子束加热蒸发与电阻加热蒸发制备的锆膜的结构。结果表明,电子束加热蒸发与电阻加热蒸发在钼衬底上制备的锆膜为hcp结构;电子束加热蒸发的锆膜以(002)晶面生长为主,而电阻加热蒸发的则以(101)与(002)晶...
关键词：蒸发 锆 薄膜 电阻加热 电子束加热 
Si基Sc膜的制备及结构分析
《强激光与粒子束》2012年第5期1121-1125,共5页吴清英 邴文增 刘锦华 罗顺忠 
中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2009A0301015)
采用电子束镀膜方法在Si基底上制备了Sc膜,利用XRD,SEM分析了不同镀膜工艺条件下制备的Sc膜的形貌和结构。结果表明:基底温度在350～550℃时,薄膜主要由单质Sc组成,而且随着基底温度的升高,膜的颗粒尺寸增大,膜也变得更加致密;基底温度...
关键词：钪 电子束镀膜 基底温度 沉积速率 形貌 
贮氢金属多层膜制备技术及吸氢性能研究
《原子能科学技术》2010年第B09期567-571,共5页刘锦华 丁伟 梁建华 
研究了用电子束蒸发方法在Mo底衬上制备Ti-Ni复合膜和在SiO2底衬上制备Mo-Ti-Ni复合膜的方法,用离子束分析方法测量了各膜层的厚度,并对样品的吸氢性能进行了分析。研究发现,Ti膜表面镀Ni后,其吸氢温度降低,吸氢总量增加,表明其吸氢活...
关键词：贮氢金属 镀膜 复合膜 吸氢 
Ti/Mo膜的X射线光电子能谱分析
《原子能科学技术》2002年第4期384-387,共4页牟方明 涂兵 姚冰 刘锦华 龙兴贵 
利用X射线光电子谱仪 (XPS)分析和Ar+ 刻蚀相结合的方法 ,分析了Ti膜表面的化学元素及相应原子的电子结合能。分析结果表明 :Ti膜及膜材料样品表面有大量的C、O元素 ;膜表面存在从衬底扩散至Ti膜的Mo元素。对样品刻蚀后Ti 2 p的XPS谱进...
关键词：Ti/Mo膜 X射线光电子能谱 分析 钛/钼膜 离子刻蚀 结合能 加速器 氚靶 真空镀膜 
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