方靖

作品数：4被引量：16H指数：3
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：金属石墨烯绝缘层气密性透镜更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《半导体光电》《微纳电子技术》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家科技重大专项中央高校基本科研业务费专项资金国家高技术研究发展计划更多>>
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一种悬浮石墨烯压力传感器的制造与建模被引量：6
《传感器与微系统》2014年第5期111-114,120,共5页蒋圣伟 师帅 袁娇娇 方靖 徐春林 汪学方 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2013AA041105);华中科技大学自主创新基金资助项目(2013TS022)
提出了一种适用于纳机电系统(NEMS)的悬浮石墨烯压力传感器,并结合传统微机械加工工艺提出了压力传感器的制造过程。利用拉曼光谱表征了机械剥离法得到的不同厚度的石墨烯薄膜,验证了石墨烯"G"峰与"2D"峰的强度与薄膜厚度有关。基于薄...
关键词：石墨烯 压力传感器 拉曼光谱 膨胀试验 压力灵敏度 
带有TSV的硅基大功率LED封装技术研究被引量：1
《半导体光电》2013年第4期621-625,共5页师帅 吕植成 汪学方 王飞 袁娇娇 方靖 
国家重大专项项目(2009ZX02038)
介绍了一种带有凹槽和硅通孔(through silicon via,TSV)的硅基制备以及晶圆级白光LED的封装方法。针对硅基大功率LED的封装结构建立了热传导模型,并通过有限元软件模拟分析了这种封装形式的散热效果。模拟结果显示,硅基封装满足LED芯片...
关键词：大功率LED TSV 散热 封装 有限元法 
石墨烯压力传感器的研究进展被引量：7
《微纳电子技术》2013年第7期447-452,457,共7页蒋圣伟 师帅 袁娇娇 方靖 徐春林 汪学方 
华中科技大学自主创新基金资助项目(2013TS022);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
对几种石墨烯压力传感器的研究进展进行了综述,包括压力传感器结构、原理及其电学、力学与机械等性能的研究,并指出了各种石墨烯压力传感器的优缺点。从中可以发现,石墨烯压力传感器比硅压力传感器具有更优异的性能,包括高量程、高灵敏...
关键词：石墨烯 压力传感器 高量程 高灵敏度 纳米级 
用于3D封装的带TSV的超薄芯片新型制作方法被引量：4
《微纳电子技术》2013年第2期118-123,128,共7页袁娇娇 吕植成 汪学方 师帅 吕亚平 张学斌 方靖 
国家重大专项(2009ZX02038)
提出了一种应用于3D封装的带有硅通孔(TSV)的超薄芯片的制作方法。具体方法为通过刻蚀对硅晶圆打孔和局部减薄,然后进行表面微加工,最后从硅晶圆上分离出超薄芯片。利用两种不同的工艺实现了TSV的制作和硅晶圆局部减薄,一种是利用深反...
关键词：3D集成 硅通孔(TSV) 减薄 深反应离子刻蚀(DRIE) 湿法腐蚀 电镀 
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