衣忠波

作品数：6被引量：7H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：金刚石抛光碳化硅闭环控制闭环更多>>
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干式抛光在减薄加工中的工艺研究
《电子工业专用设备》2024年第2期8-11,共4页孙莉莉 衣忠波 王刚 
介绍了干式抛光的工艺过程和原理,主要研究了干式抛光工艺过程中抛光压力、抛光位置、抛光时间对晶片表面粗糙度的影响。提出减小晶片表面粗糙度的工艺措施,为减少后续抛光工序的抛光时间提供指导。
关键词：干式抛光 粗糙度 工艺研究 
碳化硅单晶衬底精密加工技术研究
《电子工业专用设备》2018年第3期28-31,共4页赵岁花 梁津 王家鹏 衣忠波 
介绍了碳化硅(SiC)材料的结构和特性,分析了SiC材料的应用领域及发展趋势,研究了其单晶衬底精密加工技术,该研究对提高SiC单晶衬底加工表面质量具有指导意义。
关键词：SIC单晶 衬底 精密加工 
单线切割设备的切割方式研究被引量：1
《电子工业专用设备》2015年第1期9-13,共5页王欣 衣忠波 
通过对两种单线切割方式(摆动切割和不摆动切割)切割线受力情况的分析,比较了切削线与工件之间的接触长度与受力状态,以提高晶片切割表面质量和切片效率并减小切削线断线率的切割方式为研究方向,通过理论分析和实际应用得出:摆动切割时...
关键词：半导体设备 单线切割 直线进给切割 摆动切割 摆动工作台装置 
金刚石线恒张力闭环控制研究被引量：4
《电子工业专用设备》2013年第2期38-42,共5页杨生荣 张敏杰 王仲康 衣忠波 王克江 
针对金刚石线切割机切割线高速往复运动下,要求张力稳定的特点,提出了一种切割线恒张力闭环控制方法。该方法通过建立张力系统数学模型,进行了切割线运行力矩分析、加减速变化和卷径变化、运行速度对张力的影响,并建立了函数关系,依据...
关键词：扭矩模式 张力反馈 闭环控制 伺服电机 
张力调节系统在金刚石单线切割设备上的应用被引量：1
《电子工业专用设备》2010年第4期17-20,共4页衣忠波 王仲康 杨生荣 
金刚石单线切割设备主要是针对碳化硅等其他硬脆材料的切割,在单线切割过程中,切割线张力的突然变化会导致切割质量下降,甚至断线,必须增加张力调节系统,介绍了国内外单线切割设备的张力调节系统。
关键词：单线切割 线张力 张力调节 碳化硅 
CMP系统中抛光头与抛光台运动关系分析被引量：1
《电子工业专用设备》2007年第7期22-24,30,共4页衣忠波 
目前半导体制造技术已经进入0.13μm、300mm时代,随着硅片尺寸的增大以及特征线宽的减小,作为目前硅片超精密平坦化加工的主要手段-化学机械平坦化,已经成为IC制造技术中不可缺少的技术。介绍了在化学机械抛光过程中,可以通过抛光头与...
关键词：化学机械抛光 晶片表面不均匀度 去除率 
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