钟少龙

作品数：19被引量：71H指数：5
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS加速度传感器键合微机电系统MEMS工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《工业建筑》《传感技术学报》《光学精密工程》《控制工程》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
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基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器被引量：2
《中国激光》2017年第6期224-232,共9页郭智慧 李拥华 杨恒 钟少龙 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器,提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔...
关键词：光纤光学 微机电系统 法布里-珀罗腔 可调光滤波器 静电驱动 
基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器被引量：4
《中国激光》2014年第3期102-109,共8页钟少龙 龙亮 李明 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度...
关键词：传感器 微机电系统 加速度计 光纤传感器 光纤检测 微加工 
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