郑泽渔

作品数：5被引量：11H指数：3
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供职机构：电子科技大学微电子与固体电子学院更多>>
发文主题：射频磁控溅射氧化锌薄膜靶制备LI^+衬底温度更多>>
发文领域：一般工业技术自然科学总论理学电气工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《无机材料学报》《电子科技大学学报》《压电与声光》更多>>
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基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算被引量：1
《电子科技大学学报》2007年第5期952-954,968,共4页董加和 杨成韬 郑泽渔 李健雄 张树人 
国防科研基金资助项目
结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型。根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线。该频...
关键词：频散特性 有效介电常数 瑞利波 递归刚度矩阵法 
射频磁控溅射制备声表面波器件用ZnO薄膜被引量：3
《压电与声光》2007年第1期83-86,共4页郑泽渔 张树人 杨成韬 钟朝位 董加和 孙明霞 刘敬松 
研究了采用射频磁控溅射法在SiO2/Si衬底上制备ZnO薄膜工艺中溅射功率、氧氩比(V(O2)/V(Ar))及衬底温度对ZnO薄膜结构的影响。利用X-射线衍射(XRD)和扫描力显微镜(AFM)对薄膜进行结构性能分析,表明其结构性能随工艺参数变化的规律。利...
关键词：射频磁控溅射 氧化锌薄膜 射频功率 氧氩比(V(O2)/V(Ar)) 衬底温度 声表面波器件 
ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究被引量：3
《无机材料学报》2006年第4期1011-1017,共7页陈祝 张树人 杜善义 杨成韬 郑泽渔 李波 孙明霞 
利用固相反应制备了直径为70mm,厚度为10-15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响,确定了最佳Li+掺杂量为2．2mol％,同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材制备的最佳工...
关键词：陶瓷靶 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 择优取向 
ZnO掺杂Li^+陶瓷靶及溅射膜制备工艺研究被引量：5
《功能材料》2006年第4期583-586,590,共5页陈祝 张树人 杜善义 杨成韬 孙明霞 郑泽渔 李波 董加和 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(5130Z02)
利用固相反应成功地制备了直径为70mm,厚度为10~15mm的掺杂Li离子ZnO陶瓷靶材。研究了不同摩尔浓度的Li离子掺杂靶材,并对其绝缘电阻与损耗进行了分析比较,最终确定Li离子的最佳掺杂量为2.2l%(摩尔分数)。同时通过在不同温度烧结试验、...
关键词：陶瓷靶 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 择优取向 
循环间歇溅射工艺对PLT薄膜性能的影响
《压电与声光》2006年第1期82-84,共3页孙明霞 钟朝位 张树人 张万里 陈祝 郑泽渔 
采用射频磁控溅射技术利用循环间歇溅射工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了镧钛酸铅(PLT)薄膜。通过原子力显微镜、X-射线衍射仪分析了循环间歇溅射工艺对薄膜形貌、结构和铁电性能的影响。实验结果表明,相比于连续溅射工艺,循环间歇...
关键词：射频磁控溅射 循环间歇溅射 镧钛酸铅薄膜 铁电性能 
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